公开(公告)号：CN117604478A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202311500829.3

申请日：2023-11-13

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 孙建 ,  王陈飞 ,  朱美萍 ,  张伟丽 ,  易葵 ,  李静平 ,  王建国 ,  王龙生 ,  徐峰 ,  邵宇川 ,  邵建达

IPC: C23C14/50 ,  C23C16/458

Abstract: 一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具，包括夹具基板和多个支撑固定组件，所述的夹具基板中心设有内腔，用以放置大口径光学薄膜元件，该内腔侧壁四周设有多个螺纹孔和凹槽，所述的支撑固定组件包含支撑垫片、缓冲垫片、限位块、第一螺栓和第二螺栓。所述的缓冲垫片具有梯形光栅结构，并布满缓冲垫片与大口径光学薄膜元件接触的一侧，仅其光栅脊顶部区域与光学薄膜元件接触。本发明制镀膜夹具能减少光学薄膜元件与镀膜夹具的接触面积并提升各支撑位受力均衡性，进而提升大口径光学薄膜元件的波面质量。

公开(公告)号：CN117289733A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311129835.2

申请日：2023-09-04

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 孙建 ,  王陈飞 ,  朱美萍 ,  张伟丽 ,  易葵 ,  李静平 ,  王胭脂 ,  王龙生 ,  邵宇川 ,  邵建达

IPC: G05D22/00 ,  G05D11/02

Abstract: 本发明公开了一种调控光学元件测量样品腔室内相对湿度的装置和方法。本装置通过调控干燥气体和高湿气体的流量比例，形成特定所需湿度的混合气体通入光学元件测量样品腔室中，以实现对光学元件测量样品腔室内相对湿度的有效调控。本发明可以持续稳定的调控光学元件测量样品腔室的相对湿度，具备操作简单、稳定性高且通用性强的优点。