一种绝缘介质材料二次电子产额测试方法及应用

    公开(公告)号:CN113533404A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110789989.9

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种绝缘介质材料二次电子产额测试方法及应用,测试方法包括以下步骤:S1、采用脉冲电子束轰击样品表面考察样品表面正电荷积聚对二次电子发射过程的影响并确定电荷中和操作的次数;S2、基于电荷中和操作的次数测定样品的二次电子产额。本发明的测试方法是基于双层栅网球形二次电子收集器;本发明的二次电子产额测试方法,可以有效对绝缘介质材料表面二次电子发射后积聚的正电荷进行补偿,防止积聚电荷影响二次电子发射带来测试误差;电荷补偿的效果不受材料二次电子产额大小以及样品厚度等因素影响,测试方法的准确性没有适用范围的限制;可以同时测得绝缘介质材料样品的真二次电子产额、背散射电子产额和总二次电子产额。

    一种绝缘介质材料二次电子产额测试方法及应用

    公开(公告)号:CN113533404B

    公开(公告)日:2023-04-28

    申请号:CN202110789989.9

    申请日:2021-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种绝缘介质材料二次电子产额测试方法及应用,测试方法包括以下步骤:S1、采用脉冲电子束轰击样品表面考察样品表面正电荷积聚对二次电子发射过程的影响并确定电荷中和操作的次数;S2、基于电荷中和操作的次数测定样品的二次电子产额。本发明的测试方法是基于双层栅网球形二次电子收集器;本发明的二次电子产额测试方法,可以有效对绝缘介质材料表面二次电子发射后积聚的正电荷进行补偿,防止积聚电荷影响二次电子发射带来测试误差;电荷补偿的效果不受材料二次电子产额大小以及样品厚度等因素影响,测试方法的准确性没有适用范围的限制;可以同时测得绝缘介质材料样品的真二次电子产额、背散射电子产额和总二次电子产额。

    电子弹性反冲探测系统
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212433427U

    公开(公告)日:2021-01-29

    申请号:CN202021329126.0

    申请日:2020-07-08

    Abstract: 本实用新型公开了电子弹性反冲探测系统,包括真空室,还包括置于真空室中的电子枪、靶材料和探测器,所述电子枪和探测器均安装在靶材料上方;所述电子枪用于提供轰击靶材料的入射粒子束,所述电子枪提供的入射粒子束为低能量电子束;所述探测器用于接收入射粒子束轰击靶材料后产生的弹性反冲氢离子。本实用新型采用低能量电子束作为入射粒子束,在不损伤材料表面的同时对其氢同位素的测量分辨率达到纳米级;解决了现有探测技术分辨率较低的问题。

Patent Agency Ranking