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公开(公告)号：CN119267149A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411465475.8
申请日：2024-10-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一体集成式真空获得系统设备，包括机柜本体（1），机柜本体（1）的内部布置有真空获得设备（4）、氮气加热设备（9）、板阀（3）、整体控制系统（5）、管路（6）以及管路加热设备（8），机柜本体（1）通过控制面板（2）控制集成式真空获得系统设备的所有开关，控制面板（2）监测真空获得系统设备的运行数据，如果出现异常，及时通过警报器（7）发出警报，机柜本体（1）的机柜门上设置有机柜进气口（10），机柜本体（1）的顶部布置有机柜排气口（11）、负压传感器和局部排风机，本发明将真空获得设备以及管路均布置在机柜内，可以及时预警，降低了易燃易爆风险。
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公开(公告)号：CN119194556A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411215784.X
申请日：2024-09-02
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种铝合金硬质阳极氧化自润滑膜层的制备方法，包括：步骤S1，采用硬质阳极氧化工艺在铝合金表面制备氧化膜膜层；步骤S2，采用静态沉积法制备硬质阳极氧化自润滑膜层。还公开了一种铝合金硬质阳极氧化自润滑膜层的制备方法制备的硬质阳极氧化自润滑膜层应用于铝合金制机械零表面的处理。本发明提高了硬度、耐腐蚀和自润滑性能。
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公开(公告)号：CN116733734A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310509074.7
申请日：2023-05-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
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公开(公告)号：CN116123091A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211662639.7
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
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公开(公告)号：CN115922284A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211672945.9
申请日：2022-12-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: B23P19/02
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵轴承自动压装机，包括支撑座、压装驱动机构和压装机构，所述支撑座上端的一侧设置有安装台，所述压装驱动机构设置在安装台的上端面上，所述压装机构设置在压装驱动机构上端的一侧，所述压装驱动机构包括有X轴驱动组件、Z轴驱动组件和Y轴驱动组件，所述X轴驱动组件设置在安装台的上端面上。本发明能够在XYZ三个方向进行自由移动，精准地控制轴承运动到不同的位置，可以很好地应用于一个工件上需要多个轴承的工况，同时监测装配过程中的安装压力，安装压力可以精准控制，更加符合干式真空泵高精度需求，并且操作人员在操作时，将停止工作，感应不到操作人员时，即可以进行自动安装，提高了装配过程中的安全性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114718875A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210638190.4
申请日：2022-06-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 具有零部件防腐蚀功能的真空泵气体过滤装置，属于真空泵技术领域，为解决部分气体中杂质含量较多，一些颗粒物通过真空泵的时候会对真空泵内部零件造成损伤，工艺气体在遇到高温时会加速对真空泵内零部件的腐蚀的问题；本发明通过主动轴和从动轴上的压缩叶轮转动的过程中通过进气管抽取气体，气体通过进气管穿过固定环，并进入到上壳体和下壳体内部，转动圈转动的时候通过固定圈带动过滤构件转动，气体在固定环的内部会穿过贯穿孔并受到过滤棉的过滤，本发明中过滤棉转动以此来分担气体中的杂质，在对气体进行过滤的同时过滤棉的旋转会增加过滤的效果避免过滤棉发生堵塞，减少过滤棉的更换频率。
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公开(公告)号：CN114658656A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210208878.9
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域领域，具体说是一种用于干式真空泵的直爪式转子型线及其设计方法。包括：逆时针首尾连接的爪尖直线ef、爪臂处摆线fg、爪底圆弧gh、爪底处摆线hi、爪底直线ij、去锐角圆弧jk、节圆处圆弧kl、节圆小圆弧la、节圆圆弧ab、爪臂处圆弧bc、爪臂直线cd以及爪顶圆弧de；爪臂处摆线fg为：根据长幅外摆线的型线方程得到的长幅外摆线f’g’，由长幅外摆线f’g’等距得到，且等距后得到的爪臂处摆线fg相交于爪尖直线ef和爪底圆弧gh；本发明中节圆位置改为3段半径不同的圆弧组成，避免转子在工作过程中因高温或介质作用而发生剐蹭，提高热状态下啮合间隙的均匀性，保证运转平稳、高效。
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公开(公告)号：CN114483588A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111642594.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵，涉及罗茨真空泵排气技术领域，包括底座、设于底座顶部的泵体、设于泵体顶部的进气管和设于泵体底部的排气管，排气管的外端安装有连通管，连通管的外端设有消音管，过滤腔内部灌注有净化液；过滤腔内部设有导流机构；连通管内部设有封堵机构；本发明通过连通管与封堵机构和导流机构的配合，便于对泵体所排出的气体进行粉尘含量监测，便于在气体中的粉尘含量超过标准阈值时能够对连通管进行自动封堵，使含粉尘量超标的气体输送至过滤腔内对气体进行净化处理，有效避免泵体所排出的高含粉尘量的气体对空气造成污染，延长了消声器的使用寿命；解决了现有真空泵在排气时易出现大量粉尘的问题。
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公开(公告)号：CN118855701A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410926829.8
申请日：2024-07-11
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有环形级间气道结构的罗茨泵，包括环形气道本体，所述环形气道本体包括两个半圆弧槽所形成的空间，环形气道本体的半圆弧形槽采用与转子同心的圆弧形式，所述环形气道本体按照泵腔中心进行对称排布和两侧分流，所述半圆弧形槽与腔体中心孔之间保持有距离；当上一级排气量较大时，采用环形气道与直通式气道相结合的结构方案，本发明能够有效解决目前泵与级间进排气口返流大、影响极限真空的问题；解决目前排气量大，容积利用率不高的问题，以满足真空泵平稳、高效运行的抽气状态。
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公开(公告)号：CN118623330A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411062123.8
申请日：2024-08-05
Applicant: 东北大学 , 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。
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