公开(公告)号：CN118855701A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410926829.8

申请日：2024-07-11

Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 王云 ,  徐静怡 ,  孔祥玲 ,  官磊 ,  杨帆 ,  王光玉

IPC: F04C18/12 ,  F04C25/02 ,  F04C29/00

Abstract: 本发明公开了一种具有环形级间气道结构的罗茨泵，包括环形气道本体，所述环形气道本体包括两个半圆弧槽所形成的空间，环形气道本体的半圆弧形槽采用与转子同心的圆弧形式，所述环形气道本体按照泵腔中心进行对称排布和两侧分流，所述半圆弧形槽与腔体中心孔之间保持有距离；当上一级排气量较大时，采用环形气道与直通式气道相结合的结构方案，本发明能够有效解决目前泵与级间进排气口返流大、影响极限真空的问题；解决目前排气量大，容积利用率不高的问题，以满足真空泵平稳、高效运行的抽气状态。

公开(公告)号：CN118912500A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202411110835.2

申请日：2024-08-14

Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 官磊 ,  王光玉 ,  孔祥玲 ,  许明 ,  陶显贵

IPC: F23D14/02 ,  F23D14/46 ,  F23D14/62 ,  F23G7/06

Abstract: 本发明公开了一种应用于燃烧水洗式半导体废气处理设备的气体燃烧器，预混室内置有旋流叶片，预混室的出口与火盘相连接，火盘的中心位于燃烧器的轴线上，火盘带有作为气体出口的火孔，燃气由燃气管路进入燃烧器内部，燃气通过预混段通孔进入预混室，与从空气管路一进入的空气在预混室内进行混合，旋流叶片扰动燃气和空气并且形成预混气体，预混气体流动到火孔的出口并且被打火钩点燃，旋流叶片的表面设有产生旋转或扰动的结构，用于改变流体的流动状态，形成预混气体，预混气体流动到火孔的出口并被打火钩点燃，本发明可避免燃气不均造成的火焰偏心及燃烧不完全的问题，有效控制NOx生成，环保高效。

公开(公告)号：CN118623330A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202411062123.8

申请日：2024-08-05

Applicant: 东北大学 ,  中科仪(南通)半导体设备有限责任公司

Inventor： 谢元华 ,  于香宁 ,  王云 ,  官磊 ,  檀敏敏 ,  孔祥玲 ,  王成龙 ,  许明 ,  刘坤 ,  王光玉

IPC: F23G7/06 ,  F23G5/44

Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。