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公开(公告)号：CN119267149A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411465475.8
申请日：2024-10-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一体集成式真空获得系统设备，包括机柜本体（1），机柜本体（1）的内部布置有真空获得设备（4）、氮气加热设备（9）、板阀（3）、整体控制系统（5）、管路（6）以及管路加热设备（8），机柜本体（1）通过控制面板（2）控制集成式真空获得系统设备的所有开关，控制面板（2）监测真空获得系统设备的运行数据，如果出现异常，及时通过警报器（7）发出警报，机柜本体（1）的机柜门上设置有机柜进气口（10），机柜本体（1）的顶部布置有机柜排气口（11）、负压传感器和局部排风机，本发明将真空获得设备以及管路均布置在机柜内，可以及时预警，降低了易燃易爆风险。
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公开(公告)号：CN116123091A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211662639.7
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
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公开(公告)号：CN116085256A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211673395.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
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公开(公告)号：CN116045049A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211681856.0
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
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公开(公告)号：CN119450991A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411562179.X
申请日：2024-11-05
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: H05K5/02 , F04D27/00 , G06F30/23 , G06F30/28 , H05K7/20 , G06F113/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种降低易燃易爆风险的集成式真空系统机柜，机柜柜体开设有进气口，机柜柜体的顶部开设有排气口和负压传感器，机柜柜体的内部布置有真空获得设备和管路，当抽取气体功能降低或发生失效时发出预警信号，在ANSYS有限元分析软件中进行仿真计算，ANSYS有限元分析软件包括前处理模块、分析计算模块和后处理模块，前处理模块提供实体建模及网格划分工具，用于构造机柜柜体的有限元模型；分析计算模块包括结构分析和流体动力学分析，用于模拟多种物理介质的相互作用；后处理模块将计算结果以彩色等值线显示出来，同时将计算结果以曲线形式进行输出，本发明能够及时抽走易燃易爆气体，降低了燃爆风险。
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公开(公告)号：CN119267680A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411534019.4
申请日：2024-10-31
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种进出水口空间垂直的水管角度精准定位连接方式，第一水管（6）的左侧连接有第一转弯弯头（11），第一转弯弯头（11）装配有第一快插母头（21），第一水管（6）的右侧通过转换接头（5）安装有管道连接元件（4），管道连接元件（4）的右侧连接有第二转弯弯头（12），第二转弯弯头（12）通过第三转弯弯头（13）连接第二快插母头（22），第一快插母头（21）和第二快插母头（22）分别连接于真空获得设备的进水口、出水口，第一转弯弯头（11）、第二转弯弯头（12）、第三转弯弯头（13）和转换接头（5）之间的角度在调整后进行固定，本发明可实现真空获得设备进出水口位置的精确连接。
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