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公开(公告)号:CN118623330A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202411062123.8
申请日:2024-08-05
Applicant: 东北大学 , 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构,包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖;所述气帘环设置在所述反应腔的内部,所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口;所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室;所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部,燃烧口贯穿至所述上盖下端面;所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路,四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖;所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构,提高燃烧效率进而提高废气处理效率。
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公开(公告)号:CN119914515A
公开(公告)日:2025-05-02
申请号:CN202411785775.4
申请日:2024-12-06
Applicant: 东北大学
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空干泵间隙流量技术领域,具体涉及一种用于真空干泵间隙流量的模拟测试装置,包括测试主体、测试转子和驱动组件。测试主体包括下壳体和端盖,端盖能够扣合于容纳腔室上并通过连接件可拆卸连接。端盖的底部具有延伸部,延伸部与测试转子之间形成间隙。驱动组件位于测试主体的外部,且驱动组件能够与测试转子相连。通过该装置模拟真空干泵间隙的泄漏气体量,可以得到气体的泄漏规律,指导真空干泵的设计,以提高真空干泵的抽气性能和可靠性。
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公开(公告)号:CN119876857A
公开(公告)日:2025-04-25
申请号:CN202411838159.0
申请日:2024-12-13
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及一种金属‑聚合物的复合膜材在镀膜过程中增强结合力的方法,包括以下步骤:S1、对聚合物衬底层/每一层的金属镀层待镀膜的表面进行打孔预处理。S2、对镀膜辊内的循环水温度进行调控,以使金属镀层待镀膜的温度随着蒸镀次数的增多而逐渐增加。本发明能够从两个方向分别对于聚合物衬底层的第一表面与之相邻的金属镀膜层以及相邻的金属镀膜层界面之间的结合力进行提升。具体地,在每个蒸镀源蒸镀之前聚合物衬底层/每一层的金属镀层待镀膜的表面进行打孔预处理,并调节镀膜辊的循环水温度,提升了相邻层金属镀层之间的结合性能。有利于蒸镀金属粒子在复合膜材的金属镀层及其内部的扩散和迁移,提高复合膜材的界面结合性能。
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公开(公告)号:CN118726913A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202410706567.4
申请日:2024-06-03
Applicant: 东北大学
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明公开一种具有热补偿功能的蒸发舟,包括主体、保温层、相变层、热电偶;主体为分体式,主体外围为保温层,保温层外围为相变层,相变层为分体式且与主体对应设置,相变层外部为热电偶。本专利旨在解决因蒸发舟的结构问题及蒸发舟长度方向不同位置散热不同导致的蒸发舟温度分布不均问题,通过设置不同比热容的相变层分块,利用相变层分块材料属性的差异,使得不同相变层分块吸收同等热量时温升不同,与对应主体之间的温差也不同,进而改变对应主体散热速率,实现主体内部物料温度的均匀分布。
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公开(公告)号:CN112670595B
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202011566892.3
申请日:2020-12-25
Applicant: 东北大学
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0562
Abstract: 本发明一种固态电池的制备方法,包括正极片、负极片和固态电解质层的制造,通过依次叠片、压制、封装而成固态电池。其中:固态电解质层由固态电解质材料进行干燥、压片、切片处理得到;所述固态电解质材料采用真空快淬方法制备:先对固态电解质材料的原料进行真空感应熔炼,然后通过高速旋转的快淬辊装置对熔融状态的熔液急速冷却实施快淬,即得。本发明提供的制备方法由于固态电解质材料通过真空快淬方法制得,获得的固态电解质材料粒度分布更集中,最终制得的固态电池具有更大能量密度,而且整个制备时间大大缩短,能极大提高固态电解质材料的生产效率从而提高固态电池的生产效率,实现固态电池的高效、大批量工业化生产。
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公开(公告)号:CN114593049B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202011411188.0
申请日:2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空无油螺杆泵技术领域,特别涉及一种一体式内螺旋空心螺杆转子。包括转轴及设置于转轴上的螺旋叶片;转轴上沿轴线方向设有中心孔;螺旋叶片为中空结构,并且通过转轴表面螺旋槽与中心孔连通;转轴的中心孔及螺旋叶片的中空结构整体满足任意截面的静平衡且质心均位于转轴的中心轴线上,通过封闭端面的非均匀设计使螺杆转子整体在静平衡的基础上满足动平衡要求。本发明因内螺旋空心结构,质量更轻、能耗更低、动平衡性能更高、抗振能力更强、噪声更小;因内螺旋空心结构可通入介质气体,具有良好的散热性能、减少了转子的热变形、增强了的抗疲劳强度及使用寿命。
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公开(公告)号:CN114593049A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202011411188.0
申请日:2020-12-04
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空无油螺杆泵技术领域,特别涉及一种一体式内螺旋空心螺杆转子。包括转轴及设置于转轴上的螺旋叶片;转轴上沿轴线方向设有中心孔;螺旋叶片为中空结构,并且通过转轴表面螺旋槽与中心孔连通;转轴的中心孔及螺旋叶片的中空结构整体满足任意截面的静平衡且质心均位于转轴的中心轴线上,通过封闭端面的非均匀设计使螺杆转子整体在静平衡的基础上满足动平衡要求。本发明因内螺旋空心结构,质量更轻、能耗更低、动平衡性能更高、抗振能力更强、噪声更小;因内螺旋空心结构可通入介质气体,具有良好的散热性能、减少了转子的热变形、增强了的抗疲劳强度及使用寿命。
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公开(公告)号:CN111365219B
公开(公告)日:2021-04-27
申请号:CN201811600694.7
申请日:2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及真空泵测试领域,具体地说是一种多功能真空泵测试罩,包括外壳、水冷管、加热丝和反射罩,所述外壳外侧设有水冷管,所述外壳内部设有反射罩和加热丝,所述外壳一端设有可打开的第一密封盖,另一端闭合且设有待测泵口;所述外壳上设有进气口、测温口、测压口、PIV观测口和多个抽气口,其中所述多个抽气口包括与主泵连接的主抽气口和与粗抽泵连接的粗抽口。本发明集加热、冷却、抽气、进气、测压、测温、PIV观察等一系列功能于一身,能够使真空泵测试罩内的气体环境满足要进行的真空泵性能测试的要求,同时其测试结果的稳定性和准确性也得到提高。
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公开(公告)号:CN107176711B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201710261161.X
申请日:2017-04-20
Applicant: 东北大学
IPC: C02F9/04 , C22B15/00 , C02F103/36
Abstract: 本发明属于水处理应用及资源化领域,涉及一种高效回收高浓度黄连素废水中铜的工艺。该工艺将黄连素含铜废水加入水处理絮凝剂及聚丙烯酰胺(PAM)混合药剂,不同转速下1000‑5000r/min强烈搅拌使药剂与废水充分混合;再加入NaOH,将废水pH值调节到2~3.5;然后过滤离心去除沉淀和悬浮物。得到的废水加热后,再缓慢加入铁粉。反应完成后,过滤得到铜单质沉淀,出水进入二级反应;反应20‑30min,过滤沉淀后上清液达标排放。该工艺操作简单、运行稳定、成本低廉、回收铜单质纯度高,具有很好的经济效益和良好的应用前景。
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公开(公告)号:CN109113991B
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201811019843.0
申请日:2018-09-03
Applicant: 东北大学
Abstract: 一种具备过压排气功能的立式无油螺杆真空泵,螺杆转子采用双头全对称型线的变螺距转子,其螺旋导程沿泵体吸气口至排气口轴线方向逐渐变小;螺杆真空泵压缩比设为R,R>3,R=Vin/Vout,Vin为泵体吸气口处螺杆转子在2π螺旋角内的吸气容积,Vout为泵体排气口处螺杆转子在2π螺旋角内的排气容积;在泵体吸气口与排气口之间的侧壁上开设有泄压孔,每一根螺杆转子均对应设置一组泄压孔,每组内包含两排泄压孔;在泵体外部设置有一处泄压腔,泵体内腔通过泄压孔与泵体外部泄压腔相通;泄压腔外接一根泄压管,在泄压管上设置有泄压阀,泄压管通过泄压阀与泵体排气通道相通或直接与大气相通;当泄压孔处气体压力高于排气压力时,泄压阀开启,过压缩气体被排出。
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