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公开(公告)号：CN119267149A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411465475.8
申请日：2024-10-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一体集成式真空获得系统设备，包括机柜本体（1），机柜本体（1）的内部布置有真空获得设备（4）、氮气加热设备（9）、板阀（3）、整体控制系统（5）、管路（6）以及管路加热设备（8），机柜本体（1）通过控制面板（2）控制集成式真空获得系统设备的所有开关，控制面板（2）监测真空获得系统设备的运行数据，如果出现异常，及时通过警报器（7）发出警报，机柜本体（1）的机柜门上设置有机柜进气口（10），机柜本体（1）的顶部布置有机柜排气口（11）、负压传感器和局部排风机，本发明将真空获得设备以及管路均布置在机柜内，可以及时预警，降低了易燃易爆风险。
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公开(公告)号：CN119450991A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411562179.X
申请日：2024-11-05
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: H05K5/02 , F04D27/00 , G06F30/23 , G06F30/28 , H05K7/20 , G06F113/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种降低易燃易爆风险的集成式真空系统机柜，机柜柜体开设有进气口，机柜柜体的顶部开设有排气口和负压传感器，机柜柜体的内部布置有真空获得设备和管路，当抽取气体功能降低或发生失效时发出预警信号，在ANSYS有限元分析软件中进行仿真计算，ANSYS有限元分析软件包括前处理模块、分析计算模块和后处理模块，前处理模块提供实体建模及网格划分工具，用于构造机柜柜体的有限元模型；分析计算模块包括结构分析和流体动力学分析，用于模拟多种物理介质的相互作用；后处理模块将计算结果以彩色等值线显示出来，同时将计算结果以曲线形式进行输出，本发明能够及时抽走易燃易爆气体，降低了燃爆风险。
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公开(公告)号：CN119267680A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411534019.4
申请日：2024-10-31
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种进出水口空间垂直的水管角度精准定位连接方式，第一水管（6）的左侧连接有第一转弯弯头（11），第一转弯弯头（11）装配有第一快插母头（21），第一水管（6）的右侧通过转换接头（5）安装有管道连接元件（4），管道连接元件（4）的右侧连接有第二转弯弯头（12），第二转弯弯头（12）通过第三转弯弯头（13）连接第二快插母头（22），第一快插母头（21）和第二快插母头（22）分别连接于真空获得设备的进水口、出水口，第一转弯弯头（11）、第二转弯弯头（12）、第三转弯弯头（13）和转换接头（5）之间的角度在调整后进行固定，本发明可实现真空获得设备进出水口位置的精确连接。
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