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公开(公告)号：CN115987057A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211663283.9
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。
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公开(公告)号：CN114658654A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210208276.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种新型罗茨转子型线。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
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公开(公告)号：CN116733734A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310509074.7
申请日：2023-05-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
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公开(公告)号：CN114483588A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111642594.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵，涉及罗茨真空泵排气技术领域，包括底座、设于底座顶部的泵体、设于泵体顶部的进气管和设于泵体底部的排气管，排气管的外端安装有连通管，连通管的外端设有消音管，过滤腔内部灌注有净化液；过滤腔内部设有导流机构；连通管内部设有封堵机构；本发明通过连通管与封堵机构和导流机构的配合，便于对泵体所排出的气体进行粉尘含量监测，便于在气体中的粉尘含量超过标准阈值时能够对连通管进行自动封堵，使含粉尘量超标的气体输送至过滤腔内对气体进行净化处理，有效避免泵体所排出的高含粉尘量的气体对空气造成污染，延长了消声器的使用寿命；解决了现有真空泵在排气时易出现大量粉尘的问题。
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公开(公告)号：CN116733734B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202310509074.7
申请日：2023-05-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装挂板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116648028B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202310455127.1
申请日：2023-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116857401A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310824237.0
申请日：2023-07-06
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组件包括有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置集成阀块上，所述第一压力传感器的感应端设置在集成阀块进气通道内用于检测进气端的压力，所述第二压力传感器设置在导气通道的出气端用于检测出气压力；本发明结构简单，设计合理，使用压力传感器检测进气压力，通过压力传感器反馈的模拟量转化反馈流量，实现压力到流量的转化，实现电控上的可检测，并大幅度降低成本。
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公开(公告)号：CN116648028A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310455127.1
申请日：2023-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN114658654B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202210208276.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种罗茨转子。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
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公开(公告)号：CN216975243U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202123344362.7
申请日：2021-12-29
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本实用新型公开了一种干式真空泵的清洁装置，涉及干式真空泵技术领域，包括清洁组件，清洁组件包括第一安装板和设置于第一安装板左侧的第二安装板，第一安装板和第二安装板相对侧均开设有放置槽，放置槽内设置有连接板，连接板的另一侧设置有多个刷毛。在本实用新型中，通过增加了清洁组件，进而可以通过第一安装板和第二安装板将主轴环绕住，再通过第一安装板和第二安装板内的刷毛对主轴进行清洁，避免直接通过清洁布对主轴清洁导致有些地方没有清洁到的问题，提高了清洁的工作效率。
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