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公开(公告)号：CN116123091A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211662639.7
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
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公开(公告)号：CN116045049A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211681856.0
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
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公开(公告)号：CN116085256A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211673395.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
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公开(公告)号：CN118600409A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410631368.1
申请日：2024-05-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: C23C24/04
Abstract: 本发明公开了一种通过低温干式法制备二硫化钼粉末涂层的工艺，具体步骤包括：S1.制备纯度为99.9%、颗粒平均尺寸为30μm的二氧化锆粉末和三氧化二铝粉末；S2.按照体积比70%:30%的比例进行配比；S3.使用真空球磨机均匀混合；S4.将混合后的粉体颗粒与二硫化钼粉末进行混合；S5.使用压缩空气作为动力源，将步骤S4中制得的混合材料喷射到工件表面，连续的撞击过程使得颗粒尺寸细小的二硫化钼粉半嵌入到工件表面，并形成二硫化钼薄层，最终制得连续完整的高纯二硫化钼粉末涂层，本发明解决了干式真空泵在无润滑条件下发热量大的问题，在高温环境下具有良好的耐磨、承载和润滑性能。
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