公开(公告)号：CN119194556A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411215784.X

申请日：2024-09-02

Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 曲文超 ,  李占东 ,  孔祥玲 ,  王光玉 ,  王云

IPC: C25D11/08 ,  C25D11/16 ,  C25D11/24

Abstract: 本发明公开了一种铝合金硬质阳极氧化自润滑膜层的制备方法，包括：步骤S1，采用硬质阳极氧化工艺在铝合金表面制备氧化膜膜层；步骤S2，采用静态沉积法制备硬质阳极氧化自润滑膜层。还公开了一种铝合金硬质阳极氧化自润滑膜层的制备方法制备的硬质阳极氧化自润滑膜层应用于铝合金制机械零表面的处理。本发明提高了硬度、耐腐蚀和自润滑性能。

公开(公告)号：CN118566106A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410501439.6

申请日：2024-04-25

Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 ,  中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

Inventor： 王光玉 ,  曲文超 ,  李占东 ,  王云 ,  张军 ,  秦柏林

IPC: G01N17/00

Abstract: 本发明公开了一种用于腐蚀性气体腐蚀测试的低真空实验装置，包括真空腔室（1）、排气真空泵（7）、气体循环泵（9）、气体导管（10）、加热器、温度探测器（5）、氟气浓度探测器（4）、真空计（6）和电控阀体（2），温度探测器（5）的探头向内延伸至样品方式区域，用于测量样品周围的实时温度，真空计（6）测量真空腔室（1）内部的真空度（1），电控阀体（2）通过阀体通断配合，实现低真空实验装置的真空保持、气体单向排出及气体内部循环流动，当氟气浓度低于设定数值时，实验装置自动排气、抽真空、补充氟气，氟气浓度及真空度达均达到设定数值后，实验装置开启气体内部循环流动功能，便于腐蚀性气体进行腐蚀测试。