-
公开(公告)号：CN118855701A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410926829.8
申请日：2024-07-11
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有环形级间气道结构的罗茨泵，包括环形气道本体，所述环形气道本体包括两个半圆弧槽所形成的空间，环形气道本体的半圆弧形槽采用与转子同心的圆弧形式，所述环形气道本体按照泵腔中心进行对称排布和两侧分流，所述半圆弧形槽与腔体中心孔之间保持有距离；当上一级排气量较大时，采用环形气道与直通式气道相结合的结构方案，本发明能够有效解决目前泵与级间进排气口返流大、影响极限真空的问题；解决目前排气量大，容积利用率不高的问题，以满足真空泵平稳、高效运行的抽气状态。
-
公开(公告)号：CN116086720A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211681851.8
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备，包括检测机构、控制机构和终端系统，所述检测机构用于对轴封唇的气密封进行检测，所述控制机构用于控制和监测检测机构检测过程中的气压大小、气体流速和温度，所述终端系统用于控制检测机构和控制机构、数据传输记录和报警急停，所述检测机构包括有加热底座、中负荷体、轴封环、封板、工装轴、电机定子和电机转子，加热底座上设置有若干个安装孔。本发明对真空泵用轴封的轴封唇气密性地检测准确，检测中轴封模拟工作状态，避免由于轴封唇气密性问题引起的泵腔粉尘泄露至油腔或油腔的油进入泵腔的情况，从而降低由于这方面的问题对真空泵性能及寿命的影响，提高整个产品的可靠性。
-
公开(公告)号：CN114658654A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210208276.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种新型罗茨转子型线。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
-
公开(公告)号：CN118423280A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410496767.1
申请日：2024-04-24
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵的润滑结构，油箱的底部储存润滑油液形成油池，吸油斜面部件安装在润滑通道的底端并且浸泡在润滑油液里，吸油斜面部件浸在润滑油液的油液面以下，附着在吸油斜面部件内锥面的润滑油液受离心力作用而沿壁面上升，上升后的润滑油液经润滑通道流至密封动环的导油孔，然后在重力作用力下经过密封动环和密封定环之间的通道，进入轴承润滑轴承并带走热量，最后向下流至接油盘的内部，经过接油盘重新流回油池，形成润滑油的循环，油箱底部设有冷却水管，冷却水管连通有冷却水，用于冷却润滑油液，本发明可以将油液向上运输，解决了竖直放置真空干泵的轴承润滑问题，集成度高，冷却效果好。
-
公开(公告)号：CN117052664A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311017627.3
申请日：2023-08-14
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级罗茨真空泵机组，包括泵壳和用于驱动真空泵机组工作的电机组件，所述泵壳的内部上下端分别设置有上泵腔和下泵腔，所述泵壳在上泵腔和下泵腔内部设置有多叶罗茨转子组件，所述电机组件设置在泵壳的一端用于驱动多叶罗茨转子组件工作。本发明结构简单，设计合理，将转子与轴布置成一体式结构，节省了连接件的使用，可有效地提升装配效率与精度，多叶七级转子的排布形式，可减少真空泵的体积，提高抽气效率并减小能耗，半球形结构可有效应对工艺环境中的粉尘等情况，运转平稳、可靠。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116857401A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310824237.0
申请日：2023-07-06
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于多级干式真空泵的氮气分配模块，包括集成阀块、设置在集成阀块进气通道输入端的单向阀和安装在集成阀块上的减压阀，所述集成阀块内部设置有分流氮气的导气通道，所述集成阀块上设置有用于检测导气通道气压的压力检测组件，所述压力检测组件包括有第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置集成阀块上，所述第一压力传感器的感应端设置在集成阀块进气通道内用于检测进气端的压力，所述第二压力传感器设置在导气通道的出气端用于检测出气压力；本发明结构简单，设计合理，使用压力传感器检测进气压力，通过压力传感器反馈的模拟量转化反馈流量，实现压力到流量的转化，实现电控上的可检测，并大幅度降低成本。
-
公开(公告)号：CN114658654B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202210208276.3
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵领域，具体说是一种罗茨转子。其中端面型线包括：首尾连接的n条曲线，其中，n为罗茨转子的叶数；第一曲线由齿根圆弧包络线处直线修型、齿根圆弧包络线、以齿顶圆弧处的直线修型截取齿顶圆弧得到的曲线、齿根圆弧包络线以及齿根圆弧包络线处直线修型按逆时针依次连接，第n曲线均由第一曲线阵列n个得到；以通过回转中心点O与齿顶圆弧圆心的直线为第一型线的对称轴；齿根圆弧包络线处直线修型与齿根圆弧包络线处直线修型相对于对称轴对称；齿根圆弧包络线与齿根圆弧包络线相对于对称轴对称；本发明可有效地减少齿顶处的应力集中现象，具有较高的强度。
-
公开(公告)号：CN117307485A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311327697.9
申请日：2023-10-13
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空泵润滑供给系统，包括泵体，所述泵体包括有壳体组件、设置于壳体组件内部的转子组件和用于驱动转子组件转动的电机，所述泵体内部设置有用于循环供给润滑油的供给机构，所述供给机构包括润滑油池、甩油盘组件、接油盒、出油通道和回油通道，所述润滑油池设置在壳体组件内部用于存储和供给润滑油，所述甩油盘组件设置在转子组件上用于产生离心力甩动润滑油池内部的润滑油。本发明结构简单，设计合理，将润滑油输送系统设置在两端轴承之间，保证了轴系的刚性，大幅提升了真空泵的可靠运转时间，同时设置一个润滑油池，通过发明润滑油传递系统实现了远端轴承的可靠润滑，大大缩小了泵体体积，为各行业节省了大量空间。
-
公开(公告)号：CN114483588A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111642594.2
申请日：2021-12-30
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种具有排气口监测功能的罗茨真空泵，涉及罗茨真空泵排气技术领域，包括底座、设于底座顶部的泵体、设于泵体顶部的进气管和设于泵体底部的排气管，排气管的外端安装有连通管，连通管的外端设有消音管，过滤腔内部灌注有净化液；过滤腔内部设有导流机构；连通管内部设有封堵机构；本发明通过连通管与封堵机构和导流机构的配合，便于对泵体所排出的气体进行粉尘含量监测，便于在气体中的粉尘含量超过标准阈值时能够对连通管进行自动封堵，使含粉尘量超标的气体输送至过滤腔内对气体进行净化处理，有效避免泵体所排出的高含粉尘量的气体对空气造成污染，延长了消声器的使用寿命；解决了现有真空泵在排气时易出现大量粉尘的问题。
-
公开(公告)号：CN114421710B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111619190.1
申请日：2021-12-28
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
18
records
(took 0.077 seconds)
