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公开(公告)号：CN118532328A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410621777.3
申请日：2024-05-20
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级干式真空泵高温调节控制系统，包括多级干式真空泵泵体（1），多个温度检测传感器（2）分别设置于多级干式真空泵泵体（1）的各级壳体内，泵体加热装置（3）设置的加热器分别固定于多级干式真空泵泵体（1）的各级表面，泵体加热装置（3）和温度检测传感器（2）均与温度控制系统（4）电连接，温度控制系统（4）根据检测到的各级转子附近的温度，控制各级转子进行加热，使温度检测传感器（2）检测到的温度达到设定值，使得各级腔体内部的温度保持一致，可以根据腔体内的温度变化实现对各级转子的精确控温，对称布置的加热板设计，能够减小泵体内部的温差。
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公开(公告)号：CN116086720A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211681851.8
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空泵用轴封的轴封唇气密性的检测设备，包括检测机构、控制机构和终端系统，所述检测机构用于对轴封唇的气密封进行检测，所述控制机构用于控制和监测检测机构检测过程中的气压大小、气体流速和温度，所述终端系统用于控制检测机构和控制机构、数据传输记录和报警急停，所述检测机构包括有加热底座、中负荷体、轴封环、封板、工装轴、电机定子和电机转子，加热底座上设置有若干个安装孔。本发明对真空泵用轴封的轴封唇气密性地检测准确，检测中轴封模拟工作状态，避免由于轴封唇气密性问题引起的泵腔粉尘泄露至油腔或油腔的油进入泵腔的情况，从而降低由于这方面的问题对真空泵性能及寿命的影响，提高整个产品的可靠性。
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公开(公告)号：CN114658656B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202210208878.9
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域，具体说是一种用于干式真空泵的直爪式转子及其设计方法。包括：逆时针首尾连接的爪尖直线ef、爪臂处摆线fg、爪底圆弧gh、爪底处摆线hi、爪底直线ij、去锐角圆弧jk、节圆处圆弧kl、节圆小圆弧la、节圆圆弧ab、爪臂处圆弧bc、爪臂直线cd以及爪顶圆弧de；爪臂处摆线fg为：根据长幅外摆线的型线方程得到的长幅外摆线f’g’，由长幅外摆线f’g’等距得到，且等距后得到的爪臂处摆线fg相交于爪尖直线ef和爪底圆弧gh；本发明中节圆位置改为3段半径不同的圆弧组成，避免转子在工作过程中因高温或介质作用而发生剐蹭，提高热状态下啮合间隙的均匀性，保证运转平稳、高效。
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公开(公告)号：CN115987057A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211663283.9
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵水冷变频器安全结构，包括主板和水冷层，所述主板的上端面上设置有用于隔离强弱电的隐蔽层，所述隐蔽层远离主板一侧的侧面上设置有弱电区、排线区和接线区，所述水冷层设置在主板的下端，所述水冷层包括有水冷散热器、进水管和排水管。本发明确保了变频器的电气安全，实现真空泵的小型化，水冷变频器底部的水冷散热器可以有效减少半导体工厂内的空间热负荷，起到了节能减排的作用，增加同一功率下，水冷变频器降低70%空间热辐射，通过水冷方式，客观上提高了变频器的耐量，可以达到使变频器中继电器元件提高耐温的20℃的效果，水冷变频器通过线缆和开孔之间的橡胶圈进行了防水，端盖可以防止意外的泵内漏水飞溅。
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公开(公告)号：CN116733734A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310509074.7
申请日：2023-05-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114658656A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210208878.9
申请日：2022-03-04
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域领域，具体说是一种用于干式真空泵的直爪式转子型线及其设计方法。包括：逆时针首尾连接的爪尖直线ef、爪臂处摆线fg、爪底圆弧gh、爪底处摆线hi、爪底直线ij、去锐角圆弧jk、节圆处圆弧kl、节圆小圆弧la、节圆圆弧ab、爪臂处圆弧bc、爪臂直线cd以及爪顶圆弧de；爪臂处摆线fg为：根据长幅外摆线的型线方程得到的长幅外摆线f’g’，由长幅外摆线f’g’等距得到，且等距后得到的爪臂处摆线fg相交于爪尖直线ef和爪底圆弧gh；本发明中节圆位置改为3段半径不同的圆弧组成，避免转子在工作过程中因高温或介质作用而发生剐蹭，提高热状态下啮合间隙的均匀性，保证运转平稳、高效。
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公开(公告)号：CN116733734B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202310509074.7
申请日：2023-05-08
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 一种真空泵的水冷变频器紧急保护装置，属于真空泵技术领域，为了解决当变频器外壳在外力作用或者老化作用下发生漏水现象时，冷却水则会发生泄漏，浸入到变频器上即其他电气设备上时，则极易产生短路等不安全的问题，发明包括变频器外壳和分别固定安装在变频器外壳两端一侧外壁上的安装挂板，变频器外壳的内腔底面上安装有紧急推起安装板，变频器外壳顶面开口的两端处分别活动安装有封堵门板，变频器外壳底面的一端一侧处连通固定安装有一对水冷管，变频器外壳内腔的下端两端处分别设置有吸水连接组件，本发明巧妙的运用了漏水时，水本身的重力，来启动紧急推起安装板，可同时完成多个效果，方便使用。
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公开(公告)号：CN116648028B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202310455127.1
申请日：2023-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116648028A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310455127.1
申请日：2023-04-25
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种附带防水安全结构的水冷变频器，包括外框架和变频器本体，所述外框架的内部设置有变频器本体，所述外框架的前侧设置有控制区，所述控制区与变频器本体相连接，所述外框架的侧面开设有呈倾斜状的换气口，所述变频器本体的侧面内部设置有水冷结构，所述水冷结构循环设置在变频器本体的侧面，所述水冷结构的内部设置有低压渐动结构，所述水冷结构的外侧等距设置有风冷结构；当水流入到水冷结构的内部后，低压渐动结构可以带动水在水冷结构内进行循环震荡，从而避免水冷结构内出现水垢或是异物等对水冷结构造成腐蚀，造成水冷结构出现漏水的现象，增加水冷结构的使用寿命。
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公开(公告)号：CN116045049A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211681856.0
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
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