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公开(公告)号：CN116123091A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211662639.7
申请日：2022-12-23
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种真空干泵转子型线，包括腔体，所述腔体的内部设置有主动转子结构和从动转子结构，所述主动转子结构和从动转子结构均包括有一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子，所述一级转子、二级转子、三级转子、四级转子、五级转子和六级转子上均设置有用于排粉尘的轴向排粉槽和径向排粉槽。本发明可以有效地防止粉尘残留存积在转子间径向间隙处，转子与腔体径向间隙处，转子和腔体轴向间隙处，提高灰尘排出效果，可以有效地防止粉尘量积累到一定程度时，由于粉尘的挤压作用，会使得转子间及转子和腔体间间隙发生变化，造成真空干泵的机械剐蹭，导致真空干泵故障停机。
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公开(公告)号：CN116085256A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211673395.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种多级干式真空泵的循环水冷控温系统，包括干式真空泵系统和多级水冷温控组件，所述干式真空泵系统包括有罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱，所述多级水冷温控组件用于分别检测控制罗茨泵、干泵高真空段、干泵低真空段和油箱的温度。本发明通过多水路电磁阀根据腔体温度实时反馈，精准控温，将干式真空泵各压力段温度控制在标准范围内，确保工艺气体不会因为温度过低而凝结，不会因为温度过高而腐蚀零件，同时对需要控温的水路支路增加电磁阀，精准控温，不需要控温的水路支路，不安装电磁阀，可使电机变频器等零件保持低温，延长电控零部件寿命，也降低成本，整体设计延长干式真空泵使用寿命，避免干式真空泵过早失效。
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公开(公告)号：CN118600409A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410631368.1
申请日：2024-05-21
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: C23C24/04
Abstract: 本发明公开了一种通过低温干式法制备二硫化钼粉末涂层的工艺，具体步骤包括：S1.制备纯度为99.9%、颗粒平均尺寸为30μm的二氧化锆粉末和三氧化二铝粉末；S2.按照体积比70%:30%的比例进行配比；S3.使用真空球磨机均匀混合；S4.将混合后的粉体颗粒与二硫化钼粉末进行混合；S5.使用压缩空气作为动力源，将步骤S4中制得的混合材料喷射到工件表面，连续的撞击过程使得颗粒尺寸细小的二硫化钼粉半嵌入到工件表面，并形成二硫化钼薄层，最终制得连续完整的高纯二硫化钼粉末涂层，本发明解决了干式真空泵在无润滑条件下发热量大的问题，在高温环境下具有良好的耐磨、承载和润滑性能。
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公开(公告)号：CN116045049A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211681856.0
申请日：2022-12-27
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于干式真空泵的耐腐蚀性高的新型消音器，包括消音器主体，所述消音器主体的内部设置有用于进气和排气的导气腔，所述消音器主体上在导气腔的内部设置有阀板组件，所述消音器主体的两端均设置有用于连接进气管和排气管的连接组件，所述阀板组件包括有导向柱和PTFE阀板，所述导向柱的下端与消音器主体之间通过支架连接。本发明在关闭干式真空泵后，能在一定时间内防止气体倒流，消音效果好，并且可以防止消音器受气体腐蚀导致功能丧失，同时与桶状结构的消音器相比，其体积小，对空间需求低，可适用的场合较广，另外由于其易于实现的特点，成本也很低，避免了桶状结构消音器由于复杂管路结构与焊接带来的高成本付出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114421710A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111619190.1
申请日：2021-12-28
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
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公开(公告)号：CN114421710B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111619190.1
申请日：2021-12-28
Applicant: 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种干式真空泵散热系统，涉及真空泵的技术领域，包括真空泵的电机，所述电机的外壁设置有散热片，所述散热片的中心轴位置设置有主轴，所述电机的外壁安装有散热组件，所述电机的尾部安装有保护壳，所述保护壳的内部设置有扇叶组件和滤网组件。本一种干式真空泵散热系统，通过凸轮旋转带动按压杆旋转，使按压杆配合第二弹簧带动刷杆上下移动，进而带动毛刷摆动，更好的对滤网表面进行清洁。
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公开(公告)号：CN114607609A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011409585.4
申请日：2020-12-04
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域，特别涉及一种新组合形式的干式真空泵。包括泵体及设置于泵体内相互啮合的两个螺杆转子，其中泵体内设有相互连通的一级腔和二级腔，两个螺杆转子容置在二级腔内，并且一端贯穿一级腔；一级腔内设置相互啮合的两个罗茨转子，两个罗茨转子分别设置于两个螺杆转子上。本发明采用罗茨加螺杆组合的形式，既具备了罗茨泵容积利用系数高的特点，同时具备了螺杆泵排粉能力强的独特优点。
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公开(公告)号：CN114645185A
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202011508539.X
申请日：2020-12-18
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀、耐高温的高镍球铁的制备方法，属于高镍球铁技术领域。该方法包括：铸件工艺性分析、化学成分优化、熔炼过程控制、球化孕育处理工艺、热处理工艺方案等，制备高镍球铁稳定生产。所制备的高镍球铁铸件无缩孔、缩松、砂眼等缺陷，基体组织为奥氏体、少量晶界碳化物、球状石墨，球化级别为1‑3级，石墨大小5‑7级。
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公开(公告)号：CN114607597A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011408753.8
申请日：2020-12-04
Applicant: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明属于真空泵技术领域，特别涉及一种真空泵内转子轴组件。包括主动轴、多级主动转子、从动轴及多级从动转子，其中主动轴上设有多级主动转子，多级主动转子中除了一级主动转子以外其余的各级主动转子通过键Ⅰ与主动轴连接；从动轴上设有多级从动转子，多级从动转子中除了一级从动转子以外其余的各级从动转子通过键Ⅱ与从动轴连接。本发明采用键定位各级转子，键另一端安装在主动轴或从动轴上，并且转子和轴套采用分体式，加工简单，更换方便。
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