发光装置
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101339960B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200810137904.3

    申请日:2008-07-03

    Abstract: 本发明的目的在于提出批量生产性高地制造包括电特性良好且可靠性高的薄膜晶体管的发光装置的方法。本发明的要旨在于:在包括反交错型薄膜晶体管的发光装置的反交错型薄膜晶体管中,在栅电极上形成栅极绝缘膜,在栅极绝缘膜上形成用作沟道形成区域的微晶半导体膜,在微晶半导体膜上形成缓冲层,在缓冲层上形成一对源区域及漏区域,以使源区域及漏区域的一部分露出的方式形成与源区域及漏区域接触的一对源电极及漏电极。

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