测试探测结构
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103151337A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201210076897.7

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: G01R1/07342 G01R1/07378 H01L2224/16225

    Abstract: 一种用于晶圆级测试半导体IC封装的被测器件(DUT)的测试探测结构。该结构包括衬底、衬底通孔、形成在衬底的第一表面以接合探测卡的凸块阵列以及在衬底的第二表面上的至少一个探测单元。该探测单元包括形成在衬底的一个表面上的导电探测焊盘以及与该焊盘互连的至少一个微凸块。该焊盘通过通孔电连接到凸块阵列。一些实施例包括多个与焊盘相连接的微凸块,该焊盘被配置为与DUT上的微凸块匹配阵列相接合。在一些实施例中,DUT可以通过从探测卡通过凸块和微凸块阵列施加测试信号进行探测,而不直接探测DUT微凸块。

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