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公开(公告)号：CN105874559B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201480071804.9
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。
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公开(公告)号：CN104081491A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380007222.X
申请日：2013-02-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , G10K11/16 , G10K11/172 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的，在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。
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公开(公告)号：CN103930829A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280055389.9
申请日：2012-09-12
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J.J.M.佩杰斯特 , D.G.F.维比克
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70891 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/709 , H01J37/02 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及基板处理装置(10)，其包括支撑框架(60)，用于将辐射投射至待处理基板上的辐射投射系统(20)，用于支撑基板的基板支撑结构(30)，和流体输送系统(150)。该辐射投射系统包括冷却装置(130)，且由支撑框架支撑并与其振动解耦，使得支撑框架的在预定最大频率之上的振动基本从辐射投射系统分离。该流体输送系统包括固定在两点(151，152)处的至少一个管(140)，并包括挠性部分。挠性部分的主要部分在与基板支撑结构表面基本平行的平面上延伸。挠性部分的刚性适于将第二固定点处的高于预定最大频率的振动从第一固定点基本解耦。
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公开(公告)号：CN102473577A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031156.6
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , F16F15/04 , H01J37/16 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
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公开(公告)号：CN105874559A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071804.9
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/065 , H01J37/12
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71?80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71?80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151?160)。本发明还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102473577B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201080031156.6
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , F16F15/04 , H01J37/16 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
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公开(公告)号：CN103858057A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201280043869.3
申请日：2012-09-10
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J.J.M.佩杰斯特 , R.M.L.艾伦布鲁克 , G.德波尔
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , F16F15/04 , F16F15/085 , G03F7/70833 , G03F7/709 , H01J37/02 , H01J37/3177 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明涉及用于光刻设备或检查设备的振动隔绝模块(101)。此模块包括支撑框(102)、中间体(103)、用于容置光刻设备的支撑体(104)。中间体藉由至少一弹簧元件而连接于支撑框，致使中间体为悬吊体。支撑体藉由至少一根摆杆(108)而连接于中间体，致使支撑体为悬吊体。本发明进一步涉及包括此种振动隔绝模块的基板处理系统。
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公开(公告)号：CN103597571A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280027699.X
申请日：2012-05-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J2237/0216 , H01J2237/26
Abstract: 本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设定在如下位置：将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此，能够不增加镜筒自身的重量，使镜筒高刚性化，使作用于镜筒的振动降低。
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公开(公告)号：CN102224572B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200980146889.1
申请日：2009-09-29
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01L21/67213 , H01J37/20 , H01J37/3171 , H01J2237/006 , H01J2237/0216 , H01J2237/2001 , H01L21/67109 , Y10T279/23
Abstract: 本揭示案的液体输送机制提供一种供单一运动轴中使用的解决方案，其允许在较宽温度范围内将一或多个流体流动路径连接至真空环境中。所述机制不使用尤其在非常低的温度下容易疲劳的可挠性管道。在一实施例中，管在经密封活塞内轴向移动以允许液体输送。在第二实施例中，使用波纹管来提供所需功能性。在另一实施例中，有可能藉由利用两个或两个以上经适当组态的机制来达成两个或两个以上运动轴中的移动。
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公开(公告)号：CN109637921A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811293777.6
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30 , H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。
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