公开(公告)号：CN103858057A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201280043869.3

申请日：2012-09-10

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： J.J.M.佩杰斯特 ,  R.M.L.艾伦布鲁克 ,  G.德波尔

IPC: G03F7/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  F16F15/04 ,  F16F15/085 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709 ,  H01J37/02 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明涉及用于光刻设备或检查设备的振动隔绝模块(101)。此模块包括支撑框(102)、中间体(103)、用于容置光刻设备的支撑体(104)。中间体藉由至少一弹簧元件而连接于支撑框，致使中间体为悬吊体。支撑体藉由至少一根摆杆(108)而连接于中间体，致使支撑体为悬吊体。本发明进一步涉及包括此种振动隔绝模块的基板处理系统。