公开(公告)号：CN104081491A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201380007222.X

申请日：2013-02-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 武藤大辅 ,  菊池秀树 ,  上田浩大 ,  长冲功 ,  高野靖

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/16 ,  G10K11/16 ,  G10K11/172 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的，在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。