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公开(公告)号：CN107408484B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN111566775B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201880085852.1
申请日：2018-03-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。
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公开(公告)号：CN104520964A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041012.2
申请日：2013-06-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/185 , H01J37/26 , H01J2237/2006 , H01J2237/204
Abstract: 本发明的目的在于减少因密封保持为真空的试样室与大气的O型圈的变形而产生的试样的漂动。一种试样支架(2)插入镜体(1)的电子显微镜，其特征在于，具备试样移动装置，该试样移动装置具备：气密上述电子显微镜的镜体(1)与上述试样支架(2)的O型圈(4)；在上述试样支架(2)的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒(30)；气密上述滑筒(30)与镜体(1)的波纹管(32)；在试样支架(2)的长边方向上驱动滑筒(30)的单元(10)；以及在长边方向上对试样支架(2)进行定位的抵接部件(40)，并且具备连接上述抵接部件(40)与上述滑筒(30)的弹性体(31)。
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公开(公告)号：CN110494948A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201880024056.7
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供在环境声音等干扰作用于装置而使试样台振动时，在维持使该试样台的振动降低的支撑部件的刚性的状态下赋予衰减的技术。本公开的带电粒子束装置具备能够移动试样的试样台、使该试样台的振动衰减的衰减部、以及容纳试样台和衰减部的试样室。在该带电粒子束装置中，试样台和衰减部水平配置。另外，试样台形成被夹在衰减部与箱体的第一侧面之间而被支撑的结构，在衰减部的箱体的内部填充有多个摩擦体(图2)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104067369B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380006106.6
申请日：2013-01-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2008 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/2614
Abstract: 提供能拍摄观察区域的绕x轴‑180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴‑180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予‑180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。
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公开(公告)号：CN111566775A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880085852.1
申请日：2018-03-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。
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公开(公告)号：CN107408484A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN104081491A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380007222.X
申请日：2013-02-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , G10K11/16 , G10K11/172 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的，在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。
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公开(公告)号：CN104067369A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201380006106.6
申请日：2013-01-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2008 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20242 , H01J2237/2614
Abstract: 提供能拍摄观察区域的绕x轴-180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴-180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于，具有：样品安放台，其在前端部具有安放样品的安放部；旋转夹具，其具有保持所述样品安放台的安放台保持部；样品保持棒，其具有保持所述旋转夹具的保持部；第1旋转控制部，其以所述保持棒的延伸方向为轴来对所述样品保持棒赋予-180°至+180°的第1旋转；以及第2旋转控制部，其以与所述第1旋转的旋转轴正交的方向为轴来对所述旋转夹具赋予±45度以上的第2旋转，所述样品安放台为圆锥状或多角锥状的形状。
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