公开(公告)号：CN104520964A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041012.2

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  上田浩大 ,  斋藤浩一郎

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/185 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204

Abstract: 本发明的目的在于减少因密封保持为真空的试样室与大气的O型圈的变形而产生的试样的漂动。一种试样支架(2)插入镜体(1)的电子显微镜，其特征在于，具备试样移动装置，该试样移动装置具备：气密上述电子显微镜的镜体(1)与上述试样支架(2)的O型圈(4)；在上述试样支架(2)的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒(30)；气密上述滑筒(30)与镜体(1)的波纹管(32)；在试样支架(2)的长边方向上驱动滑筒(30)的单元(10)；以及在长边方向上对试样支架(2)进行定位的抵接部件(40)，并且具备连接上述抵接部件(40)与上述滑筒(30)的弹性体(31)。

公开(公告)号：CN104081491A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201380007222.X

申请日：2013-02-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 武藤大辅 ,  菊池秀树 ,  上田浩大 ,  长冲功 ,  高野靖

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/16 ,  G10K11/16 ,  G10K11/172 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0216

Abstract: 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的，在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。