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公开(公告)号：CN107430974B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201680010096.7
申请日：2016-02-24
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01J37/32 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供用于在离子注入期间确定工件经历的累积电荷的设备及方法。在一方面，提供具有朗缪耳探针(126)的电荷监测器，其中正电荷整流器(136)和负电荷整流器(138)可操作地耦合至所述探针并且各自被配置成仅传输正电荷和负电荷；正电流积分器(140)可操作地耦合至所述正电荷整流器(136)，其中所述正电流积分器经由正临界电压(142)而偏压，并且其中所述正电流积分器被配置成至少部分基于所述正临界电压输出正剂量(144)；负电流积分器(150)可操作地耦合至所述负电荷整流器(138)，其中所述负电流积分器经由负临界电压(152)而偏压，并且其中所述负电流积分器被配置成至少部分基于所述负临界电压输出负剂量(154)；正电荷计数器(146)和负电荷计数器(156)被配置成各自接收来自所述正电流积分器和负电流积分器的输出，以便提供与各自正电荷和负电荷相关联的各自累积正电荷值(148)和累积负电荷值(158)。
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公开(公告)号：CN106133872A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580004882.1
申请日：2015-03-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/302 , H01J2237/047 , H01J2237/24514 , H01J2237/30483
Abstract: 本发明提出一种用于跨工件(200)以改变的能量注入深度(208，212)的离子注入系统及方法。所述系统包括配置成将掺杂物气体离子化成多个离子且形成离子束(202)的离子源。质量分析器位于离子源的下游且配置成对离子束加以质量分析。减速/加速级位于质量分析器的下游。能量过滤器可以构成减速/加速级的一部分或者可以位于减速/加速级的下游。设置终端站，该终端站具有与其相关的工件支撑件，用于将工件设置在离子束之前。扫描装置配置成相对于彼此来扫描(204)所述离子束及所述工件支撑件中的一或多个。一个或多个电源可操作地耦接至离子源、质量分析器、减速/加速级、以及能量过滤器中的一个或多个。控制器配置成在扫描离子束和/或工件支撑件的同时选择性改变一个或多个分别供应至减速/加速级以及能量过滤器中的一个或多个的电压，其中一个或多个电压的选择性改变至少部分基于离子束相对工件支撑件的位置。
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公开(公告)号：CN109417010A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780034185.X
申请日：2017-05-30
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01L21/265 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种离子注入系统，其包括第一腔室以及具有加热夹盘的处理腔室。控制器在加热夹盘与第一腔室之间转移工件并选择性激励加热夹盘的第一模式和第二模式。在第一模式和第二模式下，分别将加热夹盘加热到第一温度和第二温度。第一温度是预定温度。第二温度是可变温度，由此控制器基于第一腔室中的热预算、注入能量和/或工件初始温度来确定第二温度，并且在第二模式下大体上维持第二温度。将工件从加热夹盘转移至第一腔室在第二模式下从处理腔室移除注入能量。通过在加热夹盘与冷却板之间转移工件，可以进一步将热量从加热夹盘传递至冷却板，继而冷却加热夹盘。
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公开(公告)号：CN102067268B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN106133872B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201580004882.1
申请日：2015-03-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/302 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/302 , H01J2237/047 , H01J2237/24514 , H01J2237/30483
Abstract: 本发明提出一种用于跨工件(200)以改变的能量注入深度(208，212)的离子注入系统及方法。所述系统包括配置成将掺杂物气体离子化成多个离子且形成离子束(202)的离子源。质量分析器位于离子源的下游且配置成对离子束加以质量分析。减速/加速级位于质量分析器的下游。能量过滤器可以构成减速/加速级的一部分或者可以位于减速/加速级的下游。设置终端站，该终端站具有与其相关的工件支撑件，用于将工件设置在离子束之前。扫描装置配置成相对于彼此来扫描(204)所述离子束及所述工件支撑件中的一或多个。一个或多个电源可操作地耦接至离子源、质量分析器、减速/加速级、以及能量过滤器中的一个或多个。控制器配置成在扫描离子束和/或工件支撑件的同时选择性改变一个或多个分别供应至减速/加速级以及能量过滤器中的一个或多个的电压，其中一个或多个电压的选择性改变至少部分基于离子束相对工件支撑件的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107430974A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680010096.7
申请日：2016-02-24
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , H01J37/32 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供用于在离子注入期间确定工件经历的累积电荷的设备及方法。在一方面，提供具有朗缪耳探针(126)的电荷监测器，其中正电荷整流器(136)和负电荷整流器(138)可操作地耦合至所述探针并且各自被配置成仅传输正电荷和负电荷；正电流积分器(140)可操作地耦合至所述正电荷整流器(136)，其中所述正电流积分器经由正临界电压(142)而偏压，并且其中所述正电流积分器被配置成至少部分基于所述正临界电压输出正剂量(144)；负电流积分器(150)可操作地耦合至所述负电荷整流器(138)，其中所述负电流积分器经由负临界电压(152)而偏压，并且其中所述负电流积分器被配置成至少部分基于所述负临界电压输出负剂量(154)；正电荷计数器(146)和负电荷计数器(156)被配置成各自接收来自所述正电流积分器和负电流积分器的输出，以便提供与各自正电荷和负电荷相关联的各自累积正电荷值(148)和累积负电荷值(158)。
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公开(公告)号：CN102292791B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102067270B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC classification number: H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
Abstract: 本发明提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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公开(公告)号：CN102067268A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123998.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/05 , H01J2237/0492 , H01J2237/103 , H01J2237/1405 , H01J2237/1501 , H01J2237/1523 , H01J2237/153 , H01J2237/21 , H01J2237/24528 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明公开了一种用于在离子注入工件(228)期间磁性过滤离子束(210)的系统(200)及方法，其中从离子源(212)发射离子且加速离子使其远离离子源以形成离子束。离子束由质谱仪(214)进行质量分析，其中离子是选定的。一旦离子束进行质量分析，离子束接着通过减速器(242)被减速，且在减速的下游进一步磁性过滤离子束。磁性过滤由四极磁性能量过滤器(250)提供，其中形成磁场，用于截取离开减速器的离子束中的离子，以选择性地过滤不想要的离子和快速中性粒子(264)。
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公开(公告)号：CN117321723A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280030080.8
申请日：2022-05-11
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/08
Abstract: 一种离子源，包括具有第一末端和第二末端的电弧腔体以及用于围封出腔体容积的孔板。提取孔布置于第一末端和第二末端之间。阴极靠近电弧腔体的第一末端，以及反射极靠近第二末端。大体为U形的第一偏置电极位于腔体容积内的提取孔的第一侧上。大体为U形的第二偏置电极位于腔体容积内的提取孔的第二侧上，其中第一偏置电极和第二偏置电极靠近提取孔分隔第一距离以及远离提取孔分隔第二距离。电极电源向第一偏置电极和第二偏置电极提供第一正电压和第二正电压，其中第一正电压和第二正电压相差预定偏置差。
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