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公开(公告)号：CN102934196B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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公开(公告)号：CN102934196A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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公开(公告)号：CN102067270B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC classification number: H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
Abstract: 本发明提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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公开(公告)号：CN102067270A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC classification number: H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
Abstract: 提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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