公开(公告)号：CN106133872A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201580004882.1

申请日：2015-03-06

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 科松·柯-泉珍 ,  马文·法利

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/30483

Abstract: 本发明提出一种用于跨工件(200)以改变的能量注入深度(208，212)的离子注入系统及方法。所述系统包括配置成将掺杂物气体离子化成多个离子且形成离子束(202)的离子源。质量分析器位于离子源的下游且配置成对离子束加以质量分析。减速/加速级位于质量分析器的下游。能量过滤器可以构成减速/加速级的一部分或者可以位于减速/加速级的下游。设置终端站，该终端站具有与其相关的工件支撑件，用于将工件设置在离子束之前。扫描装置配置成相对于彼此来扫描(204)所述离子束及所述工件支撑件中的一或多个。一个或多个电源可操作地耦接至离子源、质量分析器、减速/加速级、以及能量过滤器中的一个或多个。控制器配置成在扫描离子束和/或工件支撑件的同时选择性改变一个或多个分别供应至减速/加速级以及能量过滤器中的一个或多个的电压，其中一个或多个电压的选择性改变至少部分基于离子束相对工件支撑件的位置。

公开(公告)号：CN106133872B

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201580004882.1

申请日：2015-03-06

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 科松·柯-泉珍 ,  马文·法利

IPC: H01J37/302 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/30483

Abstract: 本发明提出一种用于跨工件(200)以改变的能量注入深度(208，212)的离子注入系统及方法。所述系统包括配置成将掺杂物气体离子化成多个离子且形成离子束(202)的离子源。质量分析器位于离子源的下游且配置成对离子束加以质量分析。减速/加速级位于质量分析器的下游。能量过滤器可以构成减速/加速级的一部分或者可以位于减速/加速级的下游。设置终端站，该终端站具有与其相关的工件支撑件，用于将工件设置在离子束之前。扫描装置配置成相对于彼此来扫描(204)所述离子束及所述工件支撑件中的一或多个。一个或多个电源可操作地耦接至离子源、质量分析器、减速/加速级、以及能量过滤器中的一个或多个。控制器配置成在扫描离子束和/或工件支撑件的同时选择性改变一个或多个分别供应至减速/加速级以及能量过滤器中的一个或多个的电压，其中一个或多个电压的选择性改变至少部分基于离子束相对工件支撑件的位置。