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公开(公告)号：CN102292791B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102067270B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC classification number: H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
Abstract: 本发明提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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公开(公告)号：CN102292791A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102067270A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC classification number: H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
Abstract: 提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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