公开(公告)号：CN102292791B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201080005104.1

申请日：2010-01-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 马文·法利 ,  罗纳德·博尔纳 ,  杰弗里·莱丁 ,  西奥多·斯米克 ,  高尾坂濑 ,  罗纳德·霍纳 ,  爱德华·艾伊斯勒 ,  布赖恩·弗瑞尔 ,  马克·朗伯 ,  多诺万·贝克尔 ,  保罗·艾德

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24542

Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。

公开(公告)号：CN102292791A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201080005104.1

申请日：2010-01-22

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 马文·法利 ,  罗纳德·博尔纳 ,  杰弗里·莱丁 ,  西奥多·斯米克 ,  高尾坂濑 ,  罗纳德·霍纳 ,  爱德华·艾伊斯勒 ,  布赖恩·弗瑞尔 ,  马克·朗伯 ,  多诺万·贝克尔 ,  保罗·艾德

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/24542

Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。