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公开(公告)号：CN113939891A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080040144.3
申请日：2020-06-02
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Abstract: 离子源组件和方法具有源气体供应器以向离子源腔室提供分子碳源气体。源气体流量控制器控制分子碳源气体至离子源腔室的流量。激发源激发分子碳源气体以形成碳离子和自由基。提取电极从离子源腔室中提取碳离子，形成离子束。氧化共伴气体供应器向腔室提供氧化共伴气体。氧化共伴气体流量控制器控制氧化共伴气体至腔室的流量。氧化共伴气体分解并与含碳残留物和原子碳反应，从而在离子源腔室内形成一氧化碳和二氧化碳。真空泵系统去除一氧化碳和二氧化碳，其中减少了原子碳在离子源腔室内的沉积并且增加了离子源的寿命。
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公开(公告)号：CN117321723A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280030080.8
申请日：2022-05-11
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/08
Abstract: 一种离子源，包括具有第一末端和第二末端的电弧腔体以及用于围封出腔体容积的孔板。提取孔布置于第一末端和第二末端之间。阴极靠近电弧腔体的第一末端，以及反射极靠近第二末端。大体为U形的第一偏置电极位于腔体容积内的提取孔的第一侧上。大体为U形的第二偏置电极位于腔体容积内的提取孔的第二侧上，其中第一偏置电极和第二偏置电极靠近提取孔分隔第一距离以及远离提取孔分隔第二距离。电极电源向第一偏置电极和第二偏置电极提供第一正电压和第二正电压，其中第一正电压和第二正电压相差预定偏置差。
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公开(公告)号：CN118661240A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202380019268.7
申请日：2023-01-30
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 尼尔·巴森 , 约书亚·阿比沙斯 , 大卫·斯波德莱 , 尼尔·科尔文 , 约瑟夫·瓦林斯基 , 迈克尔·克里斯托福罗 , 弗拉迪米尔·罗曼诺夫 , 普拉蒂帕·考瑞坎·苏布拉赫姆尼亚
IPC: H01J37/08 , H01J27/08 , H01J37/317
Abstract: 离子源110具有限定电弧室容积140的电弧室116。储液器144耦合到电弧室，从而限定储液器容积146。储液器容纳源种类以限定储液器容积内的液体114。导管154将储液器容积流体地耦合到电弧室容积。可选地，该导管的第一和第二开口156，158通向相应的储液器和电弧室容积。可选地，热源152选择性地加热储液器以在预定温度下熔化源种类。液体控制装置160控制储液器容积内的液体的第一容积以限定向电弧室容积的液体的预定供应量。可选地，液体控制装置是加压气体源174，该加压气体源流体地耦合到储液器以向储液器供应气体并向电弧室提供预定量的液体。
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