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公开(公告)号：CN101361160A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200680051548.2
申请日：2006-12-12
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578 , H01J2237/30472 , H01J2237/31703
Abstract: 沿离子注入的轴的入射角的测量值通过利用正和负狭缝结构(104，106)获得。正狭缝结构具有入口开口(120)、出口开口(122)、以及在正方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。负狭缝结构具有入口开口(121)、出口开口(123)、以及在负方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。第一射束测量机构(214)测量正部分的射束电流，以获得正角度射束电流测量值。第二射束测量机构(216)测量负部分的射束电流，以获得负角度射束电流测量值。分析仪部件(126)利用正角度射流测量值和负角度射流测量值确定测量的入射角。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101461027A
公开(公告)日：2009-06-17
申请号：CN200780020511.8
申请日：2007-06-01
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24535 , H01J2237/31703
Abstract: 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的逆向电流测量值，从所述的逆向电流测量值导出终端返回电流或复合逆向电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。
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公开(公告)号：CN101461027B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN200780020511.8
申请日：2007-06-01
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/24507 , H01J2237/24535 , H01J2237/31703
Abstract: 一种导出终端返回电流以在离子注入期间调节和/或补偿束流变化的方法。从离子注入系统的区域获得一个或多个单独的上游电流测量值，从所述的上游电流测量值导出终端返回电流或复合上游电流。然后为了促进目标晶片上的束流均匀性，所述终端返回电流用来调节离子束的扫描或剂量。
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公开(公告)号：CN102292791A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN102292791B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201080005104.1
申请日：2010-01-22
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 马文·法利 , 罗纳德·博尔纳 , 杰弗里·莱丁 , 西奥多·斯米克 , 高尾坂濑 , 罗纳德·霍纳 , 爱德华·艾伊斯勒 , 布赖恩·弗瑞尔 , 马克·朗伯 , 多诺万·贝克尔 , 保罗·艾德
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/3171 , H01J2237/024 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24535 , H01J2237/24542
Abstract: 一种离子束角度校准和发射度测量系统(200)，包括：其中具有细长缝(204)的板，其中细长缝位于板的转动中心，并用于使第一束部分(213)在其中穿过。束电流探测器(202)位于板的下游，其中束电流探测器包括缝(208)，用于使第一束部分的第二束部分(215)从中穿过，其中束电流探测器用于测量与第一束部分相关的第一束电流。束角度探测器(206)位于束电流探测器的下游，用于探测与第二束部分相关的第二束电流。所述板、束电流探测器和束角度探测器被设置为共同围绕所述板的转动中心旋转。
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公开(公告)号：CN101361160B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200680051548.2
申请日：2006-12-12
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24578 , H01J2237/30472 , H01J2237/31703
Abstract: 沿离子注入的轴的入射角的测量值通过利用正和负狭缝结构(104，106)获得。正狭缝结构具有入口开口(120)、出口开口(122)、以及在正方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。负狭缝结构具有入口开口(121)、出口开口(123)、以及在负方向上的具有选择的角度范围的离子束的获得部分之间的狭缝轮廓。第一射束测量机构(214)测量正部分的射束电流，以获得正角度射束电流测量值。第二射束测量机构(216)测量负部分的射束电流，以获得负角度射束电流测量值。分析仪部件(126)利用正角度射流测量值和负角度射流测量值确定测量的入射角。
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