公开(公告)号：CN115961262A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211573425.2

申请日：2022-12-08

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 张伟丽 ,  陈兴凤 ,  李令灏 ,  陈才 ,  金华 ,  张杨晓晨 ,  史肖阳 ,  冯操 ,  孙建 ,  周璟超 ,  沈雪峰 ,  王胭脂 ,  易葵 ,  邵宇川 ,  邵建达

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/24 ,  G02B1/10

Abstract: 本发明属于光学元件镀膜技术领域，揭示一种多面体转镜镀膜装夹装置，包括支架、轴承库、传动部分、从动部分、样品台；支架呈L型，一面与镀膜设备行星盘相连，另一面与轴承库侧面相抵；轴承库呈方型，顶部和两侧均设有深沟球轴承；传动部分有垂直传动轴、异形联轴器、传动扇形齿轮；从动部分有横向传动轴和从动扇形齿轮；传动扇形齿轮与从动扇形齿轮相互啮合；样品台有保护罩、多面体转镜和测试片夹具；横向传动轴贯穿从动扇形齿轮和轴承库连接样品台内的多面体转镜。当镀膜设备的行星盘高速转动时，经传动部分带动从动部分上样品台内的多面体转镜垂直360°转动，一次完成多面体转镜多个面全口径镀膜，有效提高转镜镀膜纵向与横向均匀性和效率。