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公开(公告)号:CN110661509B
公开(公告)日:2024-02-20
申请号:CN201910226416.8
申请日:2019-03-25
IPC: H03H11/30
Abstract: 公开分立电容开关电路及包括其的电容器阵列电路。所述分立电容开关电路包括:DC去耦电容器,连接在接收AC信号的功率节点与第一节点之间;二极管,连接在第一节点与第二节点之间;单位电容器,连接在第二节点与接收地电压的参考节点之间;偏置电路。偏置电路被配置为:将第一DC电压施加到第一节点并将第二DC电压施加到第二节点。施加的第一DC电压和第二DC电压控制二极管的开关操作。
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公开(公告)号:CN112289735A
公开(公告)日:2021-01-29
申请号:CN202010728435.3
申请日:2020-07-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/67
Abstract: 一种衬底处理设备和抬升销对齐设备,所述衬底处理设备包括:腔室;衬底板,衬底可放置在衬底板上;多个可移动抬升销,其位于衬底板中,以支承衬底;调平传感器,其被配置为可装载于腔室中,位于抬升销上;控制器,其被配置为接收抬升销的平面的横摇φ和纵摇θ的测量值,以根据横摇φ和纵摇θ的测量值计算所述平面的旋转矩阵T,并且使用旋转矩阵T计算抬升销的用于将所述平面调平为与水平参考平面平行的行进距离,并且输出用于对齐抬升销的抬升销控制信号;以及抬升销驱动器,其根据抬升销控制信号移动抬升销。
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公开(公告)号:CN110690095A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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公开(公告)号:CN119020778A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202410577132.4
申请日:2024-05-10
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种表面处理的方法包括:在第一工艺室中提供部件;利用连接到所述第一工艺室的远程等离子体源生成氟等离子体;以及通过向所述第一工艺室提供所述氟等离子体在所述部件的表面上形成保护层,其中所述保护层包括氟化镁,其中所述部件的镁含量为约0.5wt%至约5.5wt%,并且其中所述保护层的厚度为约100nm至约300nm。
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公开(公告)号:CN117616495A
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN202280048723.1
申请日:2022-08-12
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本公开的各种实施例涉及一种显示系统,该显示系统被配置为即使来自外部的电力供应暂时中断也无需重新启动即可快速恢复画面显示。因此,显示系统可以包括:显示器,基于图像信息来显示画面;以及电源装置,支撑显示器,并且以无线方式向显示器供电,其中,当显示器与电源装置分离超过预定距离时,显示器可以选择性地在i)省电模式和ii)超省电模式之一下操作,省电模式用于降低画面的至少一部分的亮度,超省电模式用于在维持开启状态的同时关闭画面的至少一部分。
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公开(公告)号:CN119766268A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202411901700.8
申请日:2020-11-13
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 各种实施例涉及用于由电子设备管理多种通信方案共存的装置和方法。电子装置可以包括:第一通信电路,配置为支持第一频带;第二通信电路,配置为支持第一频带的至少一部分和第二频带;第一开关,连接至第一通信电路;第二开关,连接至第二通信电路和第一开关;第一天线,连接至第一开关并配置为支持第一频带;以及第二天线,连接至第二开关并配置为支持第二频带,其中,基于第二通信电路使用第一频带,第二通信电路配置为,控制第一开关和第二开关,以将第一天线选择性地连接至第一通信电路和第二通信电路中的一个。
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公开(公告)号:CN112803961B
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202011267896.1
申请日:2020-11-13
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 各种实施例涉及用于由电子设备管理多种通信方案共存的装置和方法。电子装置可以包括:第一通信电路,配置为支持第一频带;第二通信电路,配置为支持第一频带的至少一部分和第二频带;第一开关,连接至第一通信电路;第二开关,连接至第二通信电路和第一开关;第一天线,连接至第一开关并配置为支持第一频带;以及第二天线,连接至第二开关并配置为支持第二频带,其中,基于第二通信电路使用第一频带,第二通信电路配置为,控制第一开关和第二开关,以将第一天线选择性地连接至第一通信电路和第二通信电路中的一个。
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公开(公告)号:CN119057672A
公开(公告)日:2024-12-03
申请号:CN202410020291.4
申请日:2024-01-04
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了化学机械抛光(CMP)设备的抛光头和分段式头模块。所述CMP设备的抛光头可以包括头部块、分配块和分段式头模块。头部块可以被构造为定位在基底上方。分配块可以相对于竖直方向可旋转地连接到头部块的下表面。多个压力管线可以连接到分配块并且被构造为使工作流体通过其流过。分段式头模块可以连接到分配块的下表面。分段式头模块可以被构造为与分配块一起相对于竖直方向旋转。分段式头模块可以被构造为使用通过压力管线提供的工作流体对基底进行局部加压。
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公开(公告)号:CN115679287A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202210841861.7
申请日:2022-07-18
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/458
Abstract: 一种沉积设备包括其中具有至少一个第一进气口的腔室。固定卡盘安装在腔室中,并且静电卡盘安装在固定卡盘上。边缘环设置在静电卡盘的边缘上。喷头设置在边缘环上方。挡板设置在喷头上方,并且上电极设置在挡板上方。气体引导构件设置在上电极上方,使得设置在上电极中的流动路径与第一进气口连接。气体引导构件具有在朝上方向和朝下方向上穿透的流动路径孔,并且多个引导孔设置在气体引导构件的内表面上。
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公开(公告)号:CN110690095B
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN201910131541.0
申请日:2019-02-22
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了处理边缘环的方法、基底处理系统和图像传感器。在所述方法中,利用传送机器人将第一边缘环从处理模块内的基底支撑件去除。然后,利用传送机器人将第二边缘环放置在基底支撑件上。利用传送机器人将图像传感器(例如,圆盘形的无线图像传感器)设置在第二边缘环之上。图像传感器产生图像信息,所述图像信息被分析以确定第二边缘环的对准。
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