公开(公告)号：CN114962998A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。

公开(公告)号：CN116013807A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211258508.2

申请日：2022-10-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 苏真镐 ,  金光俊 ,  安致建 ,  李羲宽 ,  崔亨虎 ,  李俊衡

IPC: H01L21/67

Abstract: 气瓶自动化系统可以包括：传送路径，其将带入到气瓶自动化系统中的气瓶中的气体自动地供应到半导体处理线；以及气缸式传感器，其通过沿着传送路径移动来检查传送路径是否异常，其中，气缸式传感器包括：气缸盖，其包括端盖紧固构件和耦合到端盖紧固构件的端盖，并且气缸盖具有第一检测传感器，第一检测传感器设置在端盖紧固构件上以检测施加到端盖的力和力矩中的一个；以及气缸本体，其连接到气缸盖并且具有第二检测传感器，第二检测传感器包括安装在其上的加速度传感器和倾斜度传感器中的至少一个。

公开(公告)号：CN114962998B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202210156009.6

申请日：2022-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边景燮 ,  具仁昱 ,  金东元 ,  金珉煐 ,  金毅 ,  金钟圭 ,  苏真镐 ,  安炳俊 ,  许英虎 ,  黄汎修

IPC: F17C13/08 ,  F17C13/04 ,  F17C13/00 ,  F17C13/02 ,  B25J11/00

Abstract: 一种气体供应系统包括装载/卸载台，其包括：托架装载机，在托架装载机处，装载了装载有气体容器的托架；测试缓冲室，其被构造为测试气体容器；以及装载/卸载机器人，其被构造为在托架与测试缓冲室之间传送气体容器。气体供应台包括：存储队列，其被构造为临时存储气体容器；气体供应柜，气体容器被安装在气体供应柜处；以及传送机器人，其被构造为在测试缓冲室与存储队列之间以及在存储队列与气体供应柜之间传送气体容器。

公开(公告)号：CN112289735A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202010728435.3

申请日：2020-07-24

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 苏真镐 ,  金建佑 ,  金周喜 ,  金珉成 ,  金乙泰 ,  尹宝拉

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/67

Abstract: 一种衬底处理设备和抬升销对齐设备，所述衬底处理设备包括：腔室；衬底板，衬底可放置在衬底板上；多个可移动抬升销，其位于衬底板中，以支承衬底；调平传感器，其被配置为可装载于腔室中，位于抬升销上；控制器，其被配置为接收抬升销的平面的横摇φ和纵摇θ的测量值，以根据横摇φ和纵摇θ的测量值计算所述平面的旋转矩阵T，并且使用旋转矩阵T计算抬升销的用于将所述平面调平为与水平参考平面平行的行进距离，并且输出用于对齐抬升销的抬升销控制信号；以及抬升销驱动器，其根据抬升销控制信号移动抬升销。