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公开(公告)号：CN116330853B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202211640371.7
申请日：2022-12-20
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可在防止印刷效率下降的同时有效率地消除片剂印刷装置的不良的片剂印刷装置以及片剂印刷方法。本发明包括：搬送部，对片剂进行搬送；喷墨头，对由搬送部搬送的片剂进行印刷；喷墨头的维护部；移动部，使喷墨头沿与由搬送部搬送片剂的搬送方向正交的方向移动；摄像部，对印刷后的片剂进行拍摄；图像处理部，对由摄像部拍摄到的图像进行处理；以及计算部，基于由图像处理部处理后的图像来计算片剂的良品率，在由计算部计算出的良品率低于规定的值时，实施维护部对喷墨头的维护，在维护部对喷墨头的维护超过规定次数时，利用移动部使喷墨头移动。
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公开(公告)号：CN113871319B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110709043.7
申请日：2021-06-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种安装装置及安装方法。本发明包括：基板载台，载置基板；载台移动机构，使基板载台移动；第一检测部，在将电子零件安装于基板的安装位置，对安装前的电子零件的位置及基板的安装预定区域的位置进行检测；接合头，在安装位置将电子零件的位置与基板的安装预定区域的位置对位，并安装于基板；第二检测部，在与安装位置隔离的检查位置，对安装之后的电子零件进行检测；以及控制装置，控制装置包括偏移量检测部，所述偏移量检测部基于由第一检测部检测出的基板的安装预定区域的位置，对安装有电子零件的基板的安装预定区域的位置与由第二检测部检测出的电子零件的位置的位置偏移量进行检测。
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公开(公告)号：CN119230446A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202410714097.6
申请日：2024-06-04
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种可提高经处理的基板的品质的基板处理装置。实施方式的基板处理装置具有：供给部，对利用旋转体旋转的基板供给处理液；基座构件，沿着以旋转体的轴为中心的圆配置有三个以上；夹紧销，设置于从基座构件的转动的轴偏心的位置，随着基座构件的转动而能够在与基板相接/分离的关闭位置与打开位置之间移动；支撑构件，在俯视下与夹紧销隔开间隔地设置，且对基板进行支撑；以及倾斜面，设置于支撑构件，从接近旋转体的轴的一侧朝向远离的一侧变高，从远离夹紧销的一侧朝向接近的一侧变高，随着基座构件的转动而能够在对基板进行载置的载置位置、和与位于关闭位置的夹紧销一起对基板进行保持的保持位置之间移动。
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公开(公告)号：CN118737940A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410357139.5
申请日：2024-03-27
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/67 , B08B3/02 , B08B15/04
Abstract: 本发明的基板处理装置以及基板处理方法能够抑制基板的下表面的污染。基板处理装置包括：旋转保持部，在保持着基板的状态下使所述基板旋转；处理液供给部，在所述基板旋转的状态下对所述基板的上表面及下表面供给处理液；清洗液供给部，在对所述基板的所述上表面及所述下表面供给了所述处理液后，在所述基板旋转的状态下对所述基板的所述上表面及所述下表面供给清洗液；下表面接液槽，能够至少贮存对所述下表面供给的所述清洗液；检测部，检测与贮存在所述下表面接液槽中的所述清洗液相关的清洗液信息；以及控制部，基于所检测出的与所述清洗液相关的清洗液信息，来决定接下来要进行的处理。
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公开(公告)号：CN115846159B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202211017278.0
申请日：2022-08-23
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可实现维护的容易化的加热处理装置、搬入搬出夹具及加热处理装置的维护方法。实施方式的加热处理装置包括：腔室；匣盒支架，设置于所述腔室的内部，且至少具有一对接收构件；第一加热部，设置于所述一对接收构件的上方，且具有至少一个第一加热器；第二加热部，设置于所述一对接收构件的下方，且具有至少一个第二加热器并且与所述第一加热部相向；以及匣盒，呈箱状且在内部具有用以支撑工件的空间，并且在所述第一加热部与所述第二加热部之间装卸自如地支撑于所述一对接收构件。在所述匣盒的相互相向的一对侧面分别设置有由所述接收构件支撑的匣盒支撑部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113451176B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202110312132.8
申请日：2021-03-24
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 桥本正规
IPC: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种可抑制所产生的尘埃的影响地进行安装的电子零件的安装装置。实施方式的电子零件的安装装置包括：安装机构，保持电子零件的安装头在安装位置将电子零件安装于基板；基板支撑机构，支撑供安装电子零件的基板；供给部，供给电子零件；以及移送部，将电子零件自供给部移送至安装位置，移送部包括：移送头，自供给部的电子零件的载置面拾取电子零件并交予安装头；臂部，在一端设置有移送头；以及移送机构，具有设置在俯视时与所述载置面不重叠的位置的滑动部，且通过随着滑动部的滑动来驱动臂部，而使移送头在供给部与安装位置之间移动。
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公开(公告)号：CN115121551B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210227736.7
申请日：2022-03-08
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种可提高污染物的去除率的基板处理装置。实施方式的基板处理装置包括：载置台，能够使基板旋转；冷却部，能够向载置台与基板之间的空间供给冷却气体；液体供给部，能够向基板的与载置台侧相反的面供给液体；检测部，能够检测处于基板的面上的液体的冻结的开始；以及控制器，能够控制基板的旋转、冷却气体的供给及液体的供给。所述控制器控制基板的旋转、冷却气体的流量及液体的供给量中的至少任一个而使处于基板的面上的液体成为过冷状态，并在基于来自检测部的信号而判定为成为过冷状态的液体已开始冻结的情况下，在从液体开始冻结起经过规定时间后，使冻结后的液体开始解冻。
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公开(公告)号：CN116895560A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310314406.6
申请日：2023-03-28
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，抑制在基板的处理中在处理液保持部与基板之间产生的热气和新搬入至处理室的基板的表面接触。本发明具有：保持部，对搬入至处理室的基板进行保持；旋转体，使基板旋转；供给机构，向基板的表面供给处理液，并对供给至基板的表面的处理液供给冲洗液；处理液保持部，与由保持部保持的基板的表面相向地设置，且直径比基板大；升降机构，使处理液保持部在接近形成于基板的表面的处理液的液膜的处理位置与从基板的表面离开的退避位置之间升降；加热部，对供给至由保持部保持的基板的表面的处理液进行加热；以及去除部，从经加热的处理液与对经加热的处理液供给的冲洗液中将在处理液保持部与基板之间产生的热气去除。
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公开(公告)号：CN116805599A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310271819.0
申请日：2023-03-20
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 山田泰弘
IPC: H01L21/67 , H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/50
Abstract: 本发明提供一种电子零件的安装装置及安装方法，通过安装工具自载置部精度良好地一并接收多个电子零件，而能够实现高位置精度的安装并且能够提高吞吐量。实施方式的电子零件的安装装置具有：多个载置部；载置部移动机构，使多个载置部的任意一者或全部移动；拍摄部，对各个载置于多个载置部的电子零件进行拍摄，识别各个电子零件的水平方向的姿势；多个安装工具，对载置于多个载置部的电子零件各个进行保持，并将其安装到基板；安装工具移动机构，使多个安装工具一并移动；定位处理部，基于拍摄部的识别结果，将载置于各个载置部的电子零件相对于各个安装工具进行定位；以及接收处理部，使多个所述安装工具执行电子零件的一并接收处理。
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公开(公告)号：CN116805596A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310263133.7
申请日：2023-03-17
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , H01L21/02 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供一种可对浓度计的功能进行检查的处理液供给装置及其检查方法、基板处理装置。实施方式的处理液供给装置具有：储槽，储存处理液；供给路径，从储槽向处理装置供给处理液；加热部，对处理液进行加热；温度计，对处理液的温度进行测定；浓度计，对处理液的浓度进行测定；以及检查部，检查部具有：温度设定部，基于设置有处理液供给装置的场所的大气压、与预先设定的处理液的蒸气压曲线，将达到规定浓度的沸点温度设定为规定温度；加热控制部，通过利用加热部对处理液进行加热，达到以规定温度为基准的规定范围内的目标温度；以及判定部，判定利用浓度计测定的达到目标温度的处理液的浓度是否为以规定浓度为基准的规定范围内的目标浓度。
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