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公开(公告)号：CN113871319B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110709043.7
申请日：2021-06-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种安装装置及安装方法。本发明包括：基板载台，载置基板；载台移动机构，使基板载台移动；第一检测部，在将电子零件安装于基板的安装位置，对安装前的电子零件的位置及基板的安装预定区域的位置进行检测；接合头，在安装位置将电子零件的位置与基板的安装预定区域的位置对位，并安装于基板；第二检测部，在与安装位置隔离的检查位置，对安装之后的电子零件进行检测；以及控制装置，控制装置包括偏移量检测部，所述偏移量检测部基于由第一检测部检测出的基板的安装预定区域的位置，对安装有电子零件的基板的安装预定区域的位置与由第二检测部检测出的电子零件的位置的位置偏移量进行检测。
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公开(公告)号：CN112218517B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202010638827.0
申请日：2020-07-06
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种安装装置，可不损害生产效率地对安装后的电子零件与基板之间的位置偏移进行检查。安装装置，将电子零件安装于基板，所述安装装置包括：接合头，搬送电子零件，并将其安装于基板；基板载台，载置基板；检查单元，对进行了安装之后的电子零件与基板之间的位置偏移进行检查；以及控制装置，检查单元具有：高度检测部，设置于接合头，对通过接合头将电子零件安装于基板时的接合头的高度进行检测；摄像部件，具有透镜，拍摄进行了安装之后的电子零件及基板；以及摄像部件升降机构，使摄像部件升降，控制装置具有控制部，所述控制部以基于由高度检测部检测出的接合头的高度来调节摄像部件的高度的方式对摄像部件升降机构进行控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112447569A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010816569.0
申请日：2020-08-14
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种可将所拾取的电子零件准确地交接至接收部的移送装置及安装装置。本发明的移送装置移送电子零件(2)，且包括：喷嘴(21)，在前端保持并拾取电子零件(2)；接收部，以能够相对于喷嘴(21)相对移动的方式设置，从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)；透射窗(21a)，在喷嘴(21)设置于与喷嘴(21)的前端相反的一侧，能够辨识设置于喷嘴(21)的前端的喷嘴孔(21b)的开口；摄像部(26)，能够在接收部从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)的位置拍摄喷嘴(21)及接收部；以及第一移动机构，用于基于摄像部(26)的拍摄图像使喷嘴(21)的中心与接收部的规定位置对准。
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公开(公告)号：CN112218517A
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN202010638827.0
申请日：2020-07-06
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种安装装置，可不损害生产效率地对安装后的电子零件与基板之间的位置偏移进行检查。安装装置，将电子零件安装于基板，所述安装装置包括：接合头，搬送电子零件，并将其安装于基板；基板载台，载置基板；检查单元，对进行了安装之后的电子零件与基板之间的位置偏移进行检查；以及控制装置，检查单元具有：高度检测部，设置于接合头，对通过接合头将电子零件安装于基板时的接合头的高度进行检测；摄像部件，具有透镜，拍摄进行了安装之后的电子零件及基板；以及摄像部件升降机构，使摄像部件升降，控制装置具有控制部，所述控制部以基于由高度检测部检测出的接合头的高度来调节摄像部件的高度的方式对摄像部件升降机构进行控制。
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公开(公告)号：CN113871319A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202110709043.7
申请日：2021-06-25
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种安装装置及安装方法。本发明包括：基板载台，载置基板；载台移动机构，使基板载台移动；第一检测部，在将电子零件安装于基板的安装位置，对安装前的电子零件的位置及基板的安装预定区域的位置进行检测；接合头，在安装位置将电子零件的位置与基板的安装预定区域的位置对位，并安装于基板；第二检测部，在与安装位置隔离的检查位置，对安装之后的电子零件进行检测；以及控制装置，控制装置包括偏移量检测部，所述偏移量检测部基于由第一检测部检测出的基板的安装预定区域的位置，对安装有电子零件的基板的安装预定区域的位置与由第二检测部检测出的电子零件的位置的位置偏移量进行检测。
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公开(公告)号：CN112447569B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202010816569.0
申请日：2020-08-14
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
Inventor： 冨樫徳和
Abstract: 本发明提供一种可将所拾取的电子零件准确地交接至接收部的移送装置及安装装置。本发明的移送装置移送电子零件(2)，且包括：喷嘴(21)，在前端保持并拾取电子零件(2)；接收部，以能够相对于喷嘴(21)相对移动的方式设置，从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)；透射窗(21a)，在喷嘴(21)设置于与喷嘴(21)的前端相反的一侧，能够辨识设置于喷嘴(21)的前端的喷嘴孔(21b)的开口；摄像部(26)，能够在接收部从喷嘴(21)的前端接收电子零件(2)的位置拍摄喷嘴(21)及接收部；以及第一移动机构，用于基于摄像部(26)的拍摄图像使喷嘴(21)的中心与接收部的规定位置对准。
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公开(公告)号：CN117096057A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202310550169.3
申请日：2023-05-16
Applicant: 芝浦机械电子装置株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/50
Abstract: 本发明提供一种可抑制所需空间的增大与生产性的降低的安装装置及安装方法。实施方式的安装装置包括：保持头，具有保持电子零件的保持工具、以及对保持工具进行加热的加热工具；驱动机构，使保持头向接近/远离安装对象的方向移动；空气供给部，供给冷却用空气；多个罐，供冷却用空气填充；升压部，对来自空气供给部的冷却用空气进行升压并填充至罐；切换部，对从哪一个罐向保持头供给冷却用空气进行切换；以及控制装置，通过控制驱动机构而使保持工具所保持的电子零件与安装对象接触，通过控制加热工具而经由保持工具对电子零件进行加热，通过控制切换部而从任一个罐向保持头供给冷却用空气。
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