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公开(公告)号：CN106500966A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610912549.7
申请日：2016-10-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 一种大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备，包括设置有导轨的液压驱动的升降平台、起吊传送机构、设置有导轨的静置工位平台、光学元件检测姿态调整平台、控制系统、信号采集系统等。本发明实现了大口径光学元件干涉检测的机械化及自动化，实现了提高环境稳定性、检测精度、检测效率、人员利用率与测量过程中的安全性的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
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公开(公告)号：CN106404794A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610902337.0
申请日：2016-10-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 合肥知常光电科技有限公司
Abstract: 本发明提出了一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法，包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、第二高反镜、旋转棱镜、振镜、远心场镜、被测样品、散射光探测器、反射光探测器和行触发探测器。测量系统通过散射光探测器收集材料表面的散射信号，结合棱镜和振镜的复合旋转运动实现了激光光束在大口径样品表面的高速扫描，从而完成了大口径材料表面散射的测量，与传统大口径材料表面散射的测量技术相比，本发明提出的测量装置和方法可以实现大口径样品表面散射的高速测量，从而大大降低了大口径材料表面散射测量所需要的时间，同时测量系统具有较高的结构紧凑性和较低的构建成本。
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公开(公告)号：CN104597721A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510026050.1
申请日：2015-01-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种紫外光刻二维平台，该平台包括底板、立板、L形托板、深沟轴承、锁母、轴承盖、第一旋转台、传动支座、传感器、限位板、限位杆、第二旋转台、气嘴连接杆、平板、基板和限位块，利用本发明紫外光刻二维平台，将气嘴连接杆连接真空泵将涂有光刻胶的基底和光刻掩模板吸附在一起，保持固定不动，采用水平和竖直方向上的两个一维旋转台精确控制基底相对于光源的倾斜和旋转状态，实现各式各样复杂微结构的制作。该装置具有结构简单紧凑、变化自由多样化、可操作性强、自动化程度高等特点，实现了对传统曝光方式的改变，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN103728685A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310544973.7
申请日：2013-11-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种梯形金属介质膜宽带脉冲压缩光栅，特点在于其是由石英基底，金层，两层介质膜组成的匹配层和三层介质膜组成的梯形光栅脊一体构成，最外层为SiO2。该梯形光栅的周期为490-640纳米；占空比为0.2-0.7；光栅脊底角为60°-89°，光栅脊中间层为高折射率层，内外层为低折射率层SiO2；匹配层外层为高折射率层，内层低折射率层；金属层厚度大于50纳米。本发明金属介质膜宽带脉冲压缩光栅可用作800纳米中心波长的高功率超短脉冲激光系统的脉冲压缩光栅。
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公开(公告)号：CN118031842A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410178465.X
申请日：2024-02-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明基于波长移相干涉的多通道面形检测装置与方法属于移相干涉测量技术领域，该装置包括波长调谐激光器、总入射光纤、光纤分束器、第一通道光纤、菲索干涉仪模块、第二通道光纤和泰曼格林干涉仪模块，菲索干涉仪模块包括分光镜、第一准直透镜、第一标准透镜、第一待测镜、成像透镜和第一探测器；泰曼格林干涉仪模块包括第二准直透镜、反射镜、分束器、参考镜、第二标准透镜、第二待测镜、成像系统和第二探测器；该方法包括稳定光源、系统调节、移相标定、采集干涉图、解算面形相位、包裹解算和系统复位的步骤；本发明通过波长调谐激光器的输出波长来完成移相，实现一次移相多通道并行测量，减少了设备数量，降低了应用成本，提高了测量效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117074372A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311090278.8
申请日：2023-08-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/63
Abstract: 一种高分辨光热显微测量装置和测量方法，该装置采用环形泵浦垂直聚焦激发光热效应，同侧同轴光纤探针形成纳米尺度探测光源，同轴后向较强散射探测信号对称高效收集和前向透射探测信号收集，环形泵浦聚焦避免了强透射泵浦光进入透射物镜对探测信号产生寄生效应。本发明实现了空间分辨率在10nm～100nm的高分辨高灵敏度光热吸收探测，且对透明样品和不透明样品均可测量。
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公开(公告)号：CN116224722A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310116929.X
申请日：2023-02-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基基于光束扫描匀光的全息光栅双光束干涉曝光系统及其曝光方法，该系统包括激光器、扫描光路、第四反光镜、半波片模块、第五反射镜、第二分光镜、第三半波片、第八反光镜、第六反光镜、第七反光镜、第一声光调制器、第二声光调制器、第一空间滤波器、第二空间滤波器、第一离轴反射镜、第二离轴反射镜、光栅基板和干涉条纹变化测量组件。本发明在实现光场均匀性指标的同时，可大幅提高系统的光能利用效率，从而缩短曝光时间，改善曝光系统的效率。
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公开(公告)号：CN111948179B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202010679089.4
申请日：2020-07-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海恒益光学精密机械有限公司
Abstract: 一种用于校准高透反射率测量系统的标准结构，包括二氧化碳气源、真空泵、阀门1、阀门2、腔体和空气压力计，所述的二氧化碳气源通过管道与所述的腔体相连接，所述的管道内安装所述的阀门1，所述的真空泵通过管道与所述的腔体相连接，所述的管道内安装所述的阀门2，所述的空气压力计通过管道与所述的腔体相连接。本发明标准结构解决了现有高透反射率测量系统无法校准的问题，可实现0.99到0.99999范围内高透反射率的校准。
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公开(公告)号：CN114163145A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111283496.4
申请日：2021-11-01
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种带金属电极的石英基底的封接方法，利用蒸镀法将玻璃焊料均匀镀在带金属电极的石英基底的电极层，并形成玻璃焊料层；将待封接的两块石英基底的玻璃焊料层接触，施加压力，使所述的玻璃焊料层紧密接触；保持压力，并置于高温焊接炉中进行高温焊接，直至焊接完成。以及实施该方法的专用夹具。本发明封接温度低，不仅避免了高温对金属电极的影响，而且玻璃焊料还对金属电极具有保护效果，同时保证了金属电极之间的相互绝缘。
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公开(公告)号：CN111367045B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010199957.9
申请日：2020-03-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽光谱球面透射标准镜，其构成包括沿激光入射方向上依次的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜构成的镜组，第四透镜可沿光轴方向移动。该镜组最大通光口径为Φ100mm、镜组长度不大于150mm、F数设计范围为0.75～3.30、工作波段为532nm～1550nm，本发明在不同波长下工作时的F数保持不变、波前误差峰谷值均≤0.025λ。本发明可应用于多波长平面激光干涉仪中，实现在多种波长下，对凸面或凹面光学元件的波前参数进行高精度测量。
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