-
公开(公告)号：CN114486199B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202210105134.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π/200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ/20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。
-
公开(公告)号：CN114486199A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210105134.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种空间光调制器相位调制量标定装置和标定方法，装置包括波长调谐激光器、空间滤波器、准直镜、线偏振片、分束器、参考镜、待测空间光调制器、反射镜、成像镜头组、相机和计算机。本发明可对纯相位型液晶空间光调制器的相位调制量进行标定，误差优于2π/200。使用本发明标定的液晶空间光调制器可调制出误差峰谷值小于等于λ/20的波前，从而达到高精度波面补偿的效果。本发明可应用于基于液晶空间光调制器的波前校正、波前补偿和自适应光学等领域。
-
公开(公告)号：CN108955532A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810964829.1
申请日：2018-08-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于绝对检测中大口径光学平面的旋转装置，该装置包括升降转动机构、吊装旋转机构和镜框。其中升降转动机构通过底板固定在镜框顶部，吊装旋转机构通过软齿同步带与升降转动机构连接，吊装旋转机构还通过承重钢丝与镜框连接。该旋转装置利用软齿同步带与大口径平面镜侧面间的摩擦力，带动整个平面镜在由若干个圆柱形塑料滚轮组成的链条上进行转动。本发明装置可以实现直径大于300mm以上的大口径平面镜任意角度的旋转，适用于在大口径高精度光学平面绝对检测过程中实现大口径平面镜的旋转。
-
公开(公告)号：CN106500966B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610912549.7
申请日：2016-10-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备，包括设置有导轨的液压驱动的升降平台、起吊传送机构、设置有导轨的静置工位平台、光学元件检测姿态调整平台、控制系统、信号采集系统等。本发明实现了大口径光学元件干涉检测的机械化及自动化，实现了提高环境稳定性、检测精度、检测效率、人员利用率与测量过程中的安全性的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
-
公开(公告)号：CN107036554A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710380378.2
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106197258A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610551583.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种双通道双波长干涉检测装置，该装置包括第一激光光源干涉仪主机、第二激光光源干涉仪主机、转折反射镜、滑动导轨、扩束次镜、准直主镜和标准透射镜。其中第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机到转折反射镜之间的空间光束为第一小口径测量通道，标准透射镜后的光束为第二大口径测量通道。第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别可以输出两种不同的激光波长。测量时将待测反射镜置于光路中，本发明装置可以同时提供两种测量通道和测量波长，适合不同口径和对测量波长有特殊要求的光学元件波前畸变的测量。
-
公开(公告)号：CN105928688A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610242396.X
申请日：2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置,包括光源模块、参考光模块和测试光模块，光源模块为测试系统提供光源，参考光模块由凹面准直镜、标准参考光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量参考光束的光谱参数；测试光模块由凹面准直镜、待测光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量测试光束的光谱参数。本发明提高了光栅衍射效率光谱的测试速度，可以实现超快速的光栅衍射效率光谱的测量，可以应用于原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量环境中；在测量过程中，仪器的所有机械结构保持静止，测试系统因而具有较高的机械稳定性。
-
公开(公告)号：CN105300273A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510710516.X
申请日：2015-10-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪，包括短相干激光器、可调中性滤波片、二分之一波片、偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一角反射镜、第二四分之一波片、第二角反射镜、显微物镜、光纤、衍射模板、被测件、第三四分之一波片、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。本发明实现一次曝光即可获得四幅相移图像，可达到实时检测的效果；光路中简化了产生相移的装置；由于产生相移的微偏振片阵列直接集成到感光元件上，抗振要求降低；干涉条纹对比度可调，适用于不同反射率的球面检测。
-
公开(公告)号：CN104006765A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410095741.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 一种用于大平面光学元件检测的单幅载频干涉条纹的相位提取方法及检测装置，该方法主要以虚光栅移相莫尔条纹和二维傅立叶变换为基础，从单幅载频干涉图中提取被测光学元件全口径范围内的二维波面相位信息，并提出了圆形口径元件面形均方根梯度值（GRMS）的计算方法。此外，基于本发明方法构建的平面光学元件面形检测装置可应用到光学加工车间的工序干涉检测中，本发明可满足对平面光学元件透射/反射低频面形偏差的检测，提高加工检测的精度和效率。
-
公开(公告)号：CN112066901A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010876592.9
申请日：2020-08-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种超声可调光谱干涉测量的测量装置和测量方法，测量装置包括超宽光谱激光光源、环形器、超声波发生器、换能器、铝板、布拉格光纤光栅、光纤微调整架、陷光器、扩束输出镜、分光棱镜、CCD相机、准直透镜、透射标准镜、待测元件和标准反射镜。超宽光谱激光光源产生宽谱光束，超声波发生器和换能器用于产生频率可调的超声波，铝板传递超声波对布拉格光纤光栅调制，光纤微调整架对光栅位置进行微调，环形器将宽谱光源与光栅反射光束分开，陷光器用于吸收光栅透射光，CCD相机用于记录干涉相位图。本发明在测量过程中，通过调整超声频率的大小即可实现光源相干长度的调节，从而可实现高平行度平板元件前后表面面形误差的快速同步的测量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
47
records
(took 0.03 seconds)
