-
公开(公告)号：CN106500966B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201610912549.7
申请日：2016-10-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备，包括设置有导轨的液压驱动的升降平台、起吊传送机构、设置有导轨的静置工位平台、光学元件检测姿态调整平台、控制系统、信号采集系统等。本发明实现了大口径光学元件干涉检测的机械化及自动化，实现了提高环境稳定性、检测精度、检测效率、人员利用率与测量过程中的安全性的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
-
公开(公告)号：CN107036554A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710380378.2
申请日：2017-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 一种平面光学元件绝对面形检测装置，主要包括激光干涉仪、扩束准直系统、透射镜二维调整系统、反射镜四维调整系统、3个平面光学元件夹具、3个平面光学元件、反射镜旋转电器控制系统等。本发明实现了平面光学元件面形绝对检测，实现了提高检测精度的目的，更能有标志性的评价加工水平，为加工精度的进一步提高提供指导意义。
-
公开(公告)号：CN106197258A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610551583.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种双通道双波长干涉检测装置，该装置包括第一激光光源干涉仪主机、第二激光光源干涉仪主机、转折反射镜、滑动导轨、扩束次镜、准直主镜和标准透射镜。其中第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机到转折反射镜之间的空间光束为第一小口径测量通道，标准透射镜后的光束为第二大口径测量通道。第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别可以输出两种不同的激光波长。测量时将待测反射镜置于光路中，本发明装置可以同时提供两种测量通道和测量波长，适合不同口径和对测量波长有特殊要求的光学元件波前畸变的测量。
-
公开(公告)号：CN105928688A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610242396.X
申请日：2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量装置,包括光源模块、参考光模块和测试光模块，光源模块为测试系统提供光源，参考光模块由凹面准直镜、标准参考光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量参考光束的光谱参数；测试光模块由凹面准直镜、待测光栅、凹面聚焦镜和线阵CCD探测器组成，用于测量测试光束的光谱参数。本发明提高了光栅衍射效率光谱的测试速度，可以实现超快速的光栅衍射效率光谱的测量，可以应用于原位时间分辨光栅衍射效率光谱的测量环境中；在测量过程中，仪器的所有机械结构保持静止，测试系统因而具有较高的机械稳定性。
-
公开(公告)号：CN105300273A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510710516.X
申请日：2015-10-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪，包括短相干激光器、可调中性滤波片、二分之一波片、偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一角反射镜、第二四分之一波片、第二角反射镜、显微物镜、光纤、衍射模板、被测件、第三四分之一波片、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。本发明实现一次曝光即可获得四幅相移图像，可达到实时检测的效果；光路中简化了产生相移的装置；由于产生相移的微偏振片阵列直接集成到感光元件上，抗振要求降低；干涉条纹对比度可调，适用于不同反射率的球面检测。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106197258B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201610551583.6
申请日：2016-07-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种双通道双波长干涉检测装置，该装置包括第一激光光源干涉仪主机、第二激光光源干涉仪主机、转折反射镜、滑动导轨、扩束次镜、准直主镜和标准透射镜。其中第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机到转折反射镜之间的空间光束为第一小口径测量通道，标准透射镜后的光束为第二大口径测量通道。第一激光光源干涉仪主机和第二激光光源干涉仪主机分别可以输出两种不同的激光波长。测量时将待测反射镜置于光路中，本发明装置可以同时提供两种测量通道和测量波长，适合不同口径和对测量波长有特殊要求的光学元件波前畸变的测量。
-
公开(公告)号：CN105300273B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510710516.X
申请日：2015-10-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪，包括短相干激光器、可调中性滤波片、二分之一波片、偏振分光棱镜、第一四分之一波片、第一角反射镜、第二四分之一波片、第二角反射镜、显微物镜、光纤、衍射模板、被测件、第三四分之一波片、成像透镜、微偏振片阵列和感光元件。本发明实现一次曝光即可获得一次曝光即可获得四幅相移图像，可达到实时检测的效果；光路中简化了产生相移的装置；由于产生相移的微偏振片阵列直接集成到感光元件上，抗振要求降低；干涉条纹对比度可调，适用于不同反射率的球面检测。
-
公开(公告)号：CN106918310A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201710097596.5
申请日：2017-02-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种电光晶体通光面法线与Z轴偏离角测量装置及其测量方法，该装置包括激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、起偏器、分光镜、平面反射镜、数字光电自准直仪、第三透镜、第四透镜、检偏器、成像透镜、探测器和计算机处理系统。实验表明，本发明利用锥光干涉原理，实现了待测晶体待测面的非接触式无损检测，保障了测量过程中不引入待测晶体表面划痕，并且适用于大口径电光晶体检测，另外本发明采用数字光电自准直仪标定检测光束的光轴方向，保障了检测光束垂直入射待测晶体，具有测量精度高，测量重复性好的优点，具有很大应用前景。
-
公开(公告)号：CN105973163A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610260395.8
申请日：2016-04-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G01B11/2441 , G01M11/00
Abstract: 一种米级光栅衍射波前拼接检测装置和检测方法，装置包括菲索型干涉仪和干涉仪标准镜，特点在于还有电控气浮平移台、二维调整载物台、控制系统和计算机，所述的二维调整载物台固定在所述的电控气浮平移台上，所述的控制系统的输出端与所述的电控气浮平移台的控制端通过电缆连接，所述的控制系统和所述的菲索型干涉仪都通过数据线连接到所述的计算机上，所述的待测米级光栅放置的角度等于待测米级光栅的衍射角，待测米级光栅固定在所述的二维调整载物台的中心高度与所述的干涉仪标准镜的中心高度相同。本发明为米级光栅提供了一种有效的检测手段，同时同时拓展了原有菲索型干涉仪的测试口径，本发明具有低成本、结构简单、高精度的特点，具有较大的工程应用价值。
-
公开(公告)号：CN105675262A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610024221.1
申请日：2016-01-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/02
Abstract: 一种大口径高平行度光学元件波前检测装置，该装置包括小口径短相干光源平面干涉仪主机、扩束系统、标准镜和计算机，本发明装置能对大口高平行度光学元件波前误差进行精确检测，有效地解决了一般商用大口径波长移相干涉仪在检测高平行度光学元件时候，由于后表面反射而产生的自干涉条纹造成波面无法解包计算的问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.035 seconds)
