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公开(公告)号：CN109443260A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811432865.X
申请日：2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置，属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中，使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题，可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单，通用性强，测量结果准确可靠。
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公开(公告)号：CN108161020A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201611144391.X
申请日：2016-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种金纳米八面体的制备方法，属于纳米材料技术领域。本发明针对现有技术存在的不足，提出了一种选用阳离子型表面活性剂聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)为保护剂和形貌控制剂，在以戊二醇(PD)为溶剂和还原剂的体系中，直接将氯金酸(HAuCl4)在高温下一步还原合成金纳米八面体。本发明的特色在于采用阳离子型表面活性剂，体系中不引入其他任何新的化学成分和杂质离子。该方法操作简单方便，重复性和可控性好，制备合成的金纳米八面体单分散性好，颗粒尺寸分布均匀，并且能够合成多种不同尺寸高纯度的金纳米八面体。
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公开(公告)号：CN103335610B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201310303322.9
申请日：2013-07-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是大口径凸高次非球面的检测系统，包括相移干涉仪、辅助球面反射镜、计算全息片及计算机，计算机与相移干涉仪连接，计算全息片和凸高次非球面构成的光学系统的前焦点与相移干涉仪发出的光波焦点重合，后焦点与辅助球面反射镜的球心重合，相移干涉仪发出光波经过计算全息片后，由凸高次非球面镜反射后成为标准球面波并经过辅助球面反射镜反射后，标准球面波原路返回至相移干涉仪中，实现对所述凸高次非球面对应区域的子孔径零检测，相移干涉仪获得所述凸高次非球面上有相互重叠区域的子区域，计算机中的数据处理单元对子区域数据进行处理，得到所述凸高次非球面的全口径面形分布信息；本发明还提供一种凸球面镜或凸非球面镜的检测装置。
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公开(公告)号：CN103335609B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310279797.9
申请日：2013-07-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后采用特征标记点像素坐标配准原理，利用特征标记点的相对位置变化，构建非线性方程组，同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础，对实验装置的精度要求较低，可为实验的精确控制提供技术支持，并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102889980B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201210390365.0
申请日：2012-10-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法，属于光学检测技术领域，该方法利用郎奇光栅的0级和1级衍射光干涉产生的条纹完成对微透镜的定焦测量：平行光经过郎奇光栅时，由于光栅的衍射效应产生0级和1级衍射光斑；根据衍射光波前相位变化，当光栅位于微透镜焦面上时，光斑重叠区域没有干涉条纹；当光栅位于离焦位置时，光斑重叠区域将由于位相差异产生干涉条纹；通过不同离焦位置的条纹周期变化，即可计算光栅的离焦量从而完成微透镜的定焦测量。本发明根据物理光学理论，定量分析光栅离焦量与条纹周期的关系，通过光栅在焦前和焦后两次离焦时条纹周期的不同，计算两次离焦量，从而完成微透镜及其阵列元件的定焦。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102607820B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201210098272.0
申请日：2012-04-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明是一种微透镜阵列焦距测量方法。微透镜阵列的各个子单元将球面波波前分割，并成像于各自的焦面上；分析成像原理，各个被分割的波面法线方向经过各个子孔径的中心、焦面上的光斑中心和球面波波前的汇聚中心；通过确定汇聚球面波波前的汇聚中心，测量微透镜阵列各个子单元的光斑中心与光轴的偏移量，可完成对各个子单元焦距的测量。该方法一次图像采集和处理可完成多个子单元焦距的测量，具有较高的测量效率和测量精度，可用于阵列数较多的微透镜阵列的检测。
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公开(公告)号：CN102494634B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201110367837.6
申请日：2011-11-18
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/25
Abstract: 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法，测量系统由被测镜、显示屏和CCD摄像机组成。首先以离轴非球面镜中心建立世界坐标系，并得到世界坐标系、显示屏坐标系及摄像机坐标系之间的关系。测量时，在显示屏上正(余)弦周期性条纹图样，投影在被测镜上被反射回来，由摄像机进行拍摄。通过相移技术及相位展开技术得到相位分布，再结合各坐标之间的关系得到被测非球面的法线向量分布，最后积分重建被测离轴非球面的面形高度信息。
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公开(公告)号：CN102426430B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201110382695.0
申请日：2011-11-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G05B19/04
Abstract: 本发明提供一种基于FPGA控制的PZT驱动系统，该系统由计算机接口、FPGA模块、键盘与显示模块、非易失存储模块、模式设置模块、ADC模块、DAC模块、PZT接口组成，FPGA模块与计算机接口、键盘与显示模块、非易失存储模块、模式设置模块、ADC模块、DAC模块相连，PZT接口分别与ADC模块和DAC模块相连，在FPGA中实现与计算机通信、按键处理、显示功能、非易失存储模块、模式处理、ADC和DAC的控制以及PZT的闭环、开环应用的控制。本发明使用FPGA模块作为PZT的控制单元，不仅实现了对PZT驱动位移的精准控制，而且又具有应用范围广、成本低、易维护等特点。
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公开(公告)号：CN102519397A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110401073.8
申请日：2011-12-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 一种光学球面曲率半径的测量方法，属于光学测试技术领域。本方法是：基于激光球面干涉定位的原理，利用高精度标准球实现被测球面曲率中心处的定位，使用激光跟踪仪测量曲率中心点至与干涉仪共焦的镜面之间距离，通过数据处理即可得到光学球面的曲率半径。本发明使用高精度标准球实现镜面曲率中心点的定位及利用激光跟踪仪进行相对距离的测量，测量精确、简单，费用低廉，对大口径、长曲率光学球面半径的高精度检测有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN102501154A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110329856.X
申请日：2011-10-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: B24B13/005 , H01L21/67
Abstract: 本发明是离子束抛光过程中工件装卡装置和方法，所述工件装卡装置包括四槽旋转台固定在装卡主平台上，四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上；四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上，拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动；陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面；在滑动固定柱侧面有一个挂钩，在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。本发明亦具有工件装卡方法在装卡主平台上安装一个四槽旋转台，通过可滑动固定柱把工件装卡在四槽旋转台结构上，通过采用千分表旋转四槽旋转台测量距可滑动固定柱的距离，不断移动可滑动固定柱的位置调节距离一致，确保工件的中心与装卡主平台的中心一致，从而实现工件位置的精确装卡。
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