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公开(公告)号:CN114236734A
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202111616292.8
申请日:2021-12-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明公开一种组合光学元件的角度对准装置,包括机架(1),第一三维调节架(21),第二三维调节架(22),第一自准直仪(31),第二自准直仪(32),第三自准直仪(33),标准镜(4)。第一三维调节架水平放置在机架上,第一自准直仪、第二自准直仪以各自监视方向呈正交状态安装在机架上,且监视中心对准第一三维调节架的载物台面中心上方,第二三维调节架以水平为基准按照一定的角度倾斜安装在机架上,第三自准直仪安装在倾斜的第二三维调节架上,监视方向与水平面夹角与第二三维调节架倾斜角度一样,且监视中心也位于第一三维调节架载物台面中心上方;首先利用标准镜校准自准直仪,然后利用自准直仪监视组合光学元件的角度状态完成对准。
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公开(公告)号:CN101234665A
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN200810101292.2
申请日:2008-03-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种小型水下观测机器人,它包括水下机器人本体和水上控制箱两个部分,其中水下机器人本体电子舱两侧水平方向安装左推进器、右推进器,照明灯;在电子舱中部垂直方向安装垂直推进器,支架、机械手与电子舱下部安装在一起;在电子舱内部安装罗盘、温度计、深度计、控制电路板;在电子舱前部安装可变焦摄像机、摄像机云台、照明灯,后部安装定焦摄像机,视频图像通过屏蔽电缆传至水上控制箱显示屏;水上控制箱由控制面板、控制电路、液晶显示屏、机箱本体组成;本发明通过视频传感器将水下被测物的外形、运作状态图像实时的传送至水上控制箱,供检修人员分析使用,并且配置的机械手可以进行轻量级的抓取作业。
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公开(公告)号:CN1876486A
公开(公告)日:2006-12-13
申请号:CN200610089503.6
申请日:2006-06-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 水下多功能机器人,其特征在于主要包括:运动车体系统、搭载于运动车体系统上的水下摄像系统、机械手系统,功能组件、操作控制器,其中功能组件包括水下清扫机、或水下吸泵机、或水下切割机、或水下焊接机中的一种或者组合,操作控制器通过控制线分别与运动车体系统、机械手系统、功能组件、水下摄像系统连接,驱动或控制其工作。本项发明不仅具有体积小、功能全、自动化程度高、适用范围广、爬坡能力强、可靠性好、操作直观简便等优点,而且特别适用在有核辐射或有毒有害的水下、大气环境中或人员无法达到的现场进行使用。
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公开(公告)号:CN109443260B
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN201811432865.X
申请日:2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置,属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中,使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题,可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单,通用性强,测量结果准确可靠。
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公开(公告)号:CN109443260A
公开(公告)日:2019-03-08
申请号:CN201811432865.X
申请日:2018-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于液体浮力的光学平板面形的测量方法和装置,属于光电技术检测领域。该装置包括干涉仪测量系统、标准平板、液槽支撑装置和溶液。将被测样品浸没在密度可调的液体中,使得标准平板下表面和被测样品上表面在液体中形成干涉腔。通过干涉仪测量干涉腔进而获得样品的表面面形。本发明有效解决了零重力面形测量难的问题,可以测量大口径平板和厚度极小的薄平板。本发明结构简单,通用性强,测量结果准确可靠。
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公开(公告)号:CN108415171A
公开(公告)日:2018-08-17
申请号:CN201810183042.1
申请日:2018-03-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光学准直扩束系统,解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时,光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述光学准直扩束系统由两块球面镜和四块柱面镜组成,其中两块柱面镜光焦度为y方向,另外两块柱面镜光焦度为x方向,单片球面镜与不同光焦度方向柱面镜组成一组准直扩束器,该系统共两组准直扩束器,第一组准直扩束器先对激光光束进行扩束,然后使激光在5米~20米范围内传输,再用第二组准直扩束器对激光光束进行准直,保证x方向光束和y方向光束均能口径和发散角要求。该光学准直扩束系统结构简单,易于加工装调,在不同传输距离时无动件,易于机械控制。
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公开(公告)号:CN101234665B
公开(公告)日:2011-02-09
申请号:CN200810101292.2
申请日:2008-03-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种小型水下观测机器人,它包括水下机器人本体和水上控制箱两个部分,其中水下机器人本体电子舱两侧水平方向安装左推进器、右推进器,照明灯;在电子舱中部垂直方向安装垂直推进器,支架、机械手与电子舱下部安装在一起;在电子舱内部安装罗盘、温度计、深度计、控制电路板;在电子舱前部安装可变焦摄像机、摄像机云台、照明灯,后部安装定焦摄像机,视频图像通过屏蔽电缆传至水上控制箱显示屏;水上控制箱由控制面板、控制电路、液晶显示屏、机箱本体组成;本发明通过视频传感器将水下被测物的外形、运作状态图像实时的传送至水上控制箱,供检修人员分析使用,并且配置的机械手可以进行轻量级的抓取作业。
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公开(公告)号:CN114236734B
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202111616292.8
申请日:2021-12-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所 , 成都同力精密光电仪器制造有限公司
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明公开一种组合光学元件的角度对准装置,包括机架(1),第一三维调节架(21),第二三维调节架(22),第一自准直仪(31),第二自准直仪(32),第三自准直仪(33),标准镜(4)。第一三维调节架水平放置在机架上,第一自准直仪、第二自准直仪以各自监视方向呈正交状态安装在机架上,且监视中心对准第一三维调节架的载物台面中心上方,第二三维调节架以水平为基准按照一定的角度倾斜安装在机架上,第三自准直仪安装在倾斜的第二三维调节架上,监视方向与水平面夹角与第二三维调节架倾斜角度一样,且监视中心也位于第一三维调节架载物台面中心上方;首先利用标准镜校准自准直仪,然后利用自准直仪监视组合光学元件的角度状态完成对准。
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公开(公告)号:CN110045477A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201910304374.5
申请日:2019-04-16
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于相位解析的光学元件自动对心方法,该方法包括以下步骤:1)初始化光学元件对心装置,将光学元件放置于检测平台;2)调节成像相机和检测平台,使成像区域覆盖光学元件边缘且成像清晰;3)旋转检测平台,使用成像相机采集光学元件表面数据;4)使用相位解析方法处理采集数据,根据解算结果调整待测光学元件与检测平台的相对位置,从而将光学元件中心与检测平台旋转中心对准,在此基础上通过迭代操作实现成像相机的位置修正,进而完成光学元件的自动对心。本发明通过相位解析方法,实现了光学元件的自动对心。
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公开(公告)号:CN109799076A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201910139343.9
申请日:2019-02-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学元件自定心方法及装置,属于光电技术检测领域。该自定心装置包括微型投影模块、分光元件、物镜、旋转台和投影监控模块。微型投影模块投射计算机生成的特定图样到待定心的光学元件表面上,旋转台带动被测光学元件旋转,投影监控模块同步拍摄元件表面反射回来的投影图像,计算机分析监控模块采集到的投影图像,对自动控制系统发出控制信号,首先调整自定心装置的光轴与转台旋转轴重合,然后调整光学元件直至其光轴和转台旋转轴重合,从而实现光学元件自动定心功能。本发明有可以实现平面、球面和非球面等圆形光学元件的自动定心,为光学元件的加工和检测提供了便利,自定心效率和精度也可以得到大大提高。
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