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公开(公告)号：CN109781745A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910136446.X
申请日：2019-02-25
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明涉及一种光学元件表面缺陷检测自动对焦方法及装置，属于光电技术检测领域。该对焦装置包括微型投影模块、分光元件、物镜和投影监控模块。微型投影模块投射计算机生成的特定图样到待对焦光学元件表面上，投影监控模块拍摄反射回来的投影图像，通过计算机分析监控模块采集到的投影图像，调焦控制器对调焦电机发出控制信号，在光轴方向调整待对焦表面的位置，直到监控模块拍到的图像最清晰，从而实现自动对焦功能。本发明有效解决了显微成像系统对焦困难、效率低下的问题，可以实现平面、球面和非球面光学元件表面缺陷检测时的自动对焦。
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公开(公告)号：CN102788683B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210319870.6
申请日：2012-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法，属于光学检测领域。利用郎奇光栅的泰伯效应，平行光经过郎奇光栅的泰伯自成像周期与光栅周期一致，将星点板置于被测微透镜的物方焦点位置；利用微移台调节星点板并确定星点板的焦物距；由光栅的泰伯自成像周期变化可计算出星点板离焦时，微透镜出射球面波前的曲率半径即微透镜成像的像距；根据像距与焦像距的位置关系，结合牛顿公式，可完成微透镜的焦距测量。该方法操作简便易行，且具有较高的测量精度。
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公开(公告)号：CN103837102A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201410091461.4
申请日：2014-03-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法，包括步骤：步骤S1：根据圆形平面的尺寸和精度要求，设定取样区域的数目为m，每个取样区域取一个采样点则共有m个取样点；步骤S2：确定每个取样区域中心在极坐标系下的角度坐标；步骤S3：确定每个取样区域中心对应的极轴坐标；步骤S4：由步骤2和步骤3，得到每个取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S5：在圆形平面上以圆心为极点，从圆心任取一条射线作为极轴，从极轴沿逆时针为正方向建立极坐标系，在圆形平面上标记步骤S4取样区域中心在极坐标系下的坐标；步骤S6：使用粗糙度测量仪器在步骤5标记的取样区域测量粗糙度。本发明广泛应用于平面光学元件粗糙度的测量中。
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公开(公告)号：CN102494873B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110369257.0
申请日：2011-11-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种微透镜阵列焦距的测量方法，该方法结合清晰度函数定焦分析，利用光栅衍射分光的原理测量微透镜阵列焦距，平行入射光经过光栅后，由于高级次衍射光光强较小可忽略，其出射光被分成3束：0级、+1级和-1级，通过测量光栅分光后在微透镜各个子孔径中的0级和±1级的光斑中心距，完成对微透镜阵列焦距的测量。同时，利用该方法一次采集图像可完成对多个子孔径的测量，适合于阵列数较多的微透镜焦距测量。本发明由于光栅分光角度由光栅周期和测量波长确定，相比较传统的转角法测量，该方法无需转台，操作简便易行。
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公开(公告)号：CN102506761B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201110337046.9
申请日：2011-10-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法，属于光学测试技术领域，使用激光跟踪仪按照特定方式获取非球面坐标点，通过数据处理及优化搜索算法得到非球面顶点曲率半径。本发明提出了非球面顶点曲率半径测量的新方法，适用于非球面在制造加工过程之中顶点曲率半径的在位测量，尤其对大口径非球面顶点曲率的测量有重要的应用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103335609A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310279797.9
申请日：2013-07-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光学面形数据旋转中心、旋转角度和平移量确定方法，首先在被测光学元件表面上选取多个特征标记点，当被测光学元件绕光轴作多次旋转和平移操作时，其待测面面形检测数据中的特征标记点会相对旋转中心产生旋转和平移；然后采用特征标记点像素坐标配准原理，利用特征标记点的相对位置变化，构建非线性方程组，同时解算出旋转中心、旋转角度和平移量等参数。该方法以数据精确配准为基础，对实验装置的精度要求较低，可为实验的精确控制提供技术支持，并为后续的面形数据处理提供准确的参数信息，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102944194A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210475654.0
申请日：2012-11-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法，包括相移干涉仪、干涉仪调整架、被测非球面透镜、透镜支架、透镜调整架、对心器、精密旋转轴系、对心器调整架、直线导轨及计算机系统，被测非球面透镜固定在透镜支架上，支架固定在透镜调整架上，透镜调整架放置在直线导轨上；对心器固定在精密旋转轴系上，精密旋转轴系安装在对心器调整架上并放置在直线导轨上；相移干涉仪放置在干涉仪调整架上并固定在直线导轨中间，用干涉仪测得被测非球面透镜上非球面的面形数据，从面形数据中提取出多个同心圆形环带上的数据，根据各环带面形数据的最大、最小值以及相应的相位信息计算出该非球面的顶点位置，进而可以算出该非球面透镜的偏心大小。
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公开(公告)号：CN102221348B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110082661.X
申请日：2011-04-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于多特征匹配和平均法的球面绝对测量方法，该方法通过对一个“猫眼”位置干涉测量和多个共焦位置干涉测量结果进行数据处理直接获得与参考面误差无关的被测球面光学元件面形误差信息。多特征匹配根据设置在被测球面光学元件表面的多个特征标记在共焦位置测量数据中形成的特征形状进行准确的旋转角度控制和数据匹配，然后将多组由“猫眼”位置测量、被测球面光学元件某一共焦位置测量和与之相对旋转180度后共焦位置测量组成的三位置法计算结果进行平均处理，以提高被测球面光学元件绝对面形误差的准确性。本发明无需复杂的调整机构和辅助对准装置，同时可避免反复进行光路调整，在实际操作中的方便性和绝对测量结果的准确性之间保持了较好的平衡，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN102661849A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210106803.6
申请日：2012-04-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种检测微透镜阵列焦距的方法，首先在微透镜阵列的顶点附近采集第一组图像；然后在微透镜阵列焦点附近采集二组图像；利用数字图像清晰度函数分析，分别确定微透镜阵列的各个单元的顶点、焦点位置；计算得出两次定焦测量的位置差，即为微透镜阵列各个单元的焦距。相比较干涉仪测量法，本发明利用软件方面的图像分析计算代替硬件上的干涉仪定焦，测量成本更低，操作简便、易行，操作简便易行。同时，利用该方法一次采集图像可完成对多个阵列的测量，适合于阵列数较多的微透镜焦距测量。
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公开(公告)号：CN101957182B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010244780.6
申请日：2010-08-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统，包括光纤光源、会聚光路分光系统、可更换式测量光栅、高精度平面反射镜、大口径高陡度光学镜面、数字CCD、计算机信息处理系统。从数值孔径光纤光源发出的光，通过测量光栅后产生一组阴影条纹，这些阴影条纹在经过会聚光路分光系统及高精度平面反射镜后投影到大口径高陡度光学镜面上，而后又被大口径高陡度光学镜面按原光路反射回去，再次经过高精度平面反射镜及会聚光路分光系统时产生另一束光路，并在这束光路中产生出这个光源的共额像。这个像通过数字CCD采集后传输到计算机，由计算机信息处理系统来进行分析处理，通过比较反射回的像与理想像之间的偏差计算出这个大口径高陡度光学镜面面形误差。
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