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公开(公告)号：CN118482666A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410946902.8
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于可控空间载频移相干涉测量的调整装置及方法，属于光学检测领域，调整装置包括干涉测量系统，干涉测量系统包括光束准直分光机构、倾斜载频机构、成像机构以及计算机，光束准直分光机构包含激光器、扩束准直器以及分光板，倾斜载频机构包含压电偏摆台和参考镜，成像机构包含成像透镜和CCD相机；计算机控制压电偏摆台进行二维倾斜以产生密集干涉条纹；计算机系统通过基于二维离散傅里叶变换的相关处理分析干涉条纹获得压电偏摆台所需调整量，并驱动压电偏摆台进行准确调整。本发明为空间载频移相干涉测量中的直接干涉测量法(DMI)获取所需的干涉条纹提供了一种有效的调整手段,具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN118171584A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410598201.X
申请日：2024-05-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件数控保形加工方法，属于先进光学制造领域，首先通过求解非球面光学元件各点与平滑盘的对应关系，进而求得二者之间的不吻合度，以不吻合度最小作为求解目标得到关于平滑盘的曲率半径、平滑行距、平滑盘的直径的优化模型，通过粒子群算法进行优化，得到较小的不吻合度，为平滑盘的设计提供有效指导。本发明既可以保证合适的不吻合度，又能实现高效的平滑加工。
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公开(公告)号：CN117607053A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311697036.5
申请日：2023-12-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器。其中，所述处理器根据预存程序设置OLED显示屏显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件表面反射后的正弦条纹像经过显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被相机采集。待测光学元件表面存在疵病的位置会有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降。所述处理器对采集到正弦条纹图进行分析，获取所述待测曲面元件表面面形以及缺陷信息。
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公开(公告)号：CN117541467A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311568399.9
申请日：2023-11-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G06T3/4038 , G06T19/20 , G06V10/46
Abstract: 本发明提供一种基于调制度和SIFT的光学元件表面缺陷三维拼接的方法，用于实现快速准确的大口径表面缺陷三维检测，包括：获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率；调制度图像的特征提取；水平、垂直斜率的配准与融合；水平、垂直斜率积分重建拼接面形；高通滤波得到表面缺陷三维信息。采用显微结构照明获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率信息，再采用SIFT算法对子图像的调制度进行特征提取，根据特征点位置信息对水平、垂直斜率进行配准和融合得到全口径的水平、垂直斜率分布，积分后得到全口径面形信息，进一步采用高通滤波得到全口径的表面缺陷三维信息。本发明为全口径光学元件表面缺陷三维拼接提供了一种快速准确的拼接手段。
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公开(公告)号：CN114739317B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210338472.2
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于自校准的计算全息及非球面调整方法，通过先调整计算全息，后调整待测非球面，将计算全息的调整误差引入整个过程，且计算全息的调整精度可以不断优化，在此基础上精调待测非球面，提高了全流程的测量精度。采用最小二乘法拟合调整坐标方程求解最优调整坐标，并通过迭代操作降低误差，实现调整方法的自校准，整个过程基于坐标数值的相对变化进行调整，不要求光路粗调的精准度，在保证测量精度的同时，提高了测量效率。本发明通过多参量调整方程拟合和多目标优化解算，实现了计算全息及非球面的自校准调整。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113091637B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202110301016.6
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种超高精度平面镜全口径中频面形测量装置及方法，测量装置用于测量超高精度平面镜全口径中频面形，装置包括：白光干涉仪、显微物镜、轴向位移台、倾斜调整台、升降装置、两个标准镜及自准直仪以及计算机系统和大理石基座。白光干涉仪安装在大理石横梁上的升降装置上；轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在大理石基座上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测超高精度平面镜的空间姿态；计算机系统与白光干涉仪相连，收集超高精度平面镜子孔径区域面形信息；通过调整平移台获得超高精度平面镜下一子孔径内面形信息，最后根据自准直仪检测数据结合拼接数据处理软件，获得超高精度平面镜全口径面形误差。
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公开(公告)号：CN114252023A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111622488.8
申请日：2021-12-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法，相移干涉仪安装在大理石横梁上；计算全息图通过全息调整架与相移干涉仪固定，通过全息调整架调整计算全息图；由检测工装、轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在与大理石基座相连的升降装置上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测非球面元件的空间姿态；计算机系统与相移干涉仪相连，采集待测非球面的面形信息；通过分析采集的面形信息获得待测非球面所需调整量，根据自准直仪检测数据控制位置调整台定量调整非球面，实现检测光路的准确调整。本发明为非球面计算全息检测提供了一种有效的调整手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN107255456A
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201710532268.3
申请日：2017-07-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种计算全息基底刻蚀误差在位标定方法。该方法可在计算全息检测非球面的光路条件下，保持计算全息光路位置不变，实现计算全息基底刻蚀误差的在位标定。具体光路结构为将待测的非球面替换成球面镜，并在计算全息与球面镜加入补偿器，对系统球差进行补偿。在计算全息进行刻蚀加工之前，将该平行平板基底放入光路中进行第一次检测；在计算全息基板完成全息刻蚀加工之后，再将计算全息放入光路中进行第二次检测，两次检测结果之差即为标定得到的计算全息基底刻蚀误差。该方法突破了现有在位标定技术中非球面的F数限制问题，且标定精度并不受限于补偿器的制作精度水平和待测球面的面形质量，无需对补偿器和待测球面面形误差进行标定。
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公开(公告)号：CN104374548B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410653561.1
申请日：2014-11-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种透镜折射率干涉测量方法，该方法首先通过移动被测透镜，使干涉仪出射的平行光束经过标准镜头后会聚在被测透镜表面。然后采用双路测距干涉仪进行距离测量及面形误差补偿，获取被测透镜前后表面顶点处两次定位的位置坐标，利用光线追迹公式计算透镜折射率。该方法使用的测量装置包括干涉仪，标准物镜，激光测距仪，五维调整架及移动导轨。其中标准物镜和被测透镜依次放在干涉仪光源出射光线方向。被测透镜固定在五维调整架上，可在导轨上移动。本发明利用干涉法对透镜表面定位及位置补偿，实现了透镜折射率的非接触测量。
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公开(公告)号：CN103292738B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201310259595.8
申请日：2013-06-26
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面面形误差绝对检测方法，利用被测球面在共焦位置多次旋转和共心平移的测量数据，采用基于Zernike多项式拟合的旋转平移算法，构建关于被测球面和参考面Zernike多项式系数的方程系，运用最小二乘法解得Zernike多项式系数，从而获得被测球面和参考面的绝对面形信息。该方法同样也可用于平面面形误差的检测。由于该方法采用了全局优化的思路同时解算被测球面和参考面的多项式系数，因而更能抑制系统误差和随机噪声，抗干扰性更强，具有重要的应用价值。
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