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公开(公告)号：CN115265425A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210666743.7
申请日：2022-06-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B15/04
Abstract: 本发明提供了一种衍射元件微观形貌对宏观性能影响的评估方法。通过图像处理算法将加工误差引入到元件表面三维微观形貌模型中，利用衍射元件光波调制分析方法计算衍射元件对入射光波的调制作用及局部衍射效率；采用标量衍射积分公式计算元件焦面及离焦面光强，采用相位差法反演得到元件的波前像差，采用改进的局部光栅方程描述衍射元件的宏观性能，实现衍射元件微观加工误差对宏观性能影响的评估。该方法打通了衍射元件微观形貌与宏观性能的联系，为微结构加工误差定量化研究提供了基本方法，同时使用改进的光栅方程描述衍射元件宏观性能，打通了与传统光线追迹技术的接口，解决了衍射成像系统的性能可预测性，可降低衍射元件应用风险。
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公开(公告)号：CN114739327A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210294414.4
申请日：2022-03-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种检测八块拼接镜共面的方法，该方法借助激光跟踪仪对八块拼接镜进行装调，使得其平面度达到要求。首先将八块拼接镜装到工装里，利用激光跟踪仪调整工装和旋转平台的中心一致，把激光跟踪仪放到中心位置，然后把靶球放置在每一块拼接镜的上下左右四个位置，采集32个点，拟合成一个平面，计算平面度。根据点的坐标，调整每一块拼接镜的位移和倾斜，直至拼接镜的平面度达到要求即可。本发明解决了八块拼接镜的装调和检测问题。
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公开(公告)号：CN114608486A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210295309.2
申请日：2022-03-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/27
Abstract: 本发明公开了一种检测与调整衍架导轨平行度的方法，提高了这种分节桁架导轨在空间位置上平行度的检测精度。本发明借助激光跟踪仪首先调整了中间那根分节桁架导轨的直线度，然后以它的一端作为坐标原点建立空间坐标系，进而根据空间坐标调整左右两根分节桁架导轨各自的直线度和与中间那根的平行度，最后再重新复测三根分节桁架导轨的平行度。本发明借助激光跟踪仪的高精度，进而提高分节桁架导轨在空间位置上平行度的检测精度，而且操作简单，大大节约了时间成本。
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公开(公告)号：CN114518656A
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202210282533.8
申请日：2022-03-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种多波长共焦衍射元件及其设计方法，首先确定元件口径、焦距及使用波长；然后根据单波长聚焦元件设计公式确定每个波长对应的台阶加工区域及台阶高度；对多个单波长元件对应的台阶加工区域进行逻辑运算优化，得到新的台阶加工区域；根据使用需求，对多个单波长元件对应的台阶高度进行综合优化得到新的台阶高度；根据新的台阶加工区域与台阶高度，形成多波长共焦衍射元件加工文件。本发明所述的多波长共焦元件，使用一片衍射元件即可实现多波长共焦汇聚；其加工采用传统衍射元件加工方法，不增加工艺难度；其设计方法采用正向设计思路，无需复杂的迭代过程，对波长数值与元件口径没有限制，设计自由度高。
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公开(公告)号：CN111006851A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201911280851.5
申请日：2019-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种拼接镜中边缘子镜的波前检测装置和方法，组合使用干涉仪和激光跟踪仪，采用计算全息片补偿像差检测拼接镜中边缘子镜的波前，波前检测装置包括高精度平面反射镜、升降架、被测边缘子镜、倾斜调整装置、计算全息片、小五维调整台、标准镜头、干涉仪、隔振平台、五维调整台、激光跟踪仪、靶球。利用激光跟踪仪建立干涉仪、被测边缘子镜和平面镜的空间坐标系，放入计算全息片对准干涉仪，将干涉仪与计算全息片作为一个整体，精调整体的俯仰和倾斜，形成自准直光路，调整直至干涉仪波前检测结果中像差项为最小，即为被测边缘子镜的波前检测结果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110082074A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910432045.9
申请日：2019-05-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法。首先，干涉仪发出平面波检测平面反射镜波前1。其次，采用干涉自准直法，干涉仪发出的光束经被检光学件，平面镜自准直回干涉仪形成干涉，得到整个光学系统波前2。最后，分别用Zernike多项式拟合波前1和波前2，计算出波前1和2的Zernike系数。将波前2和波前1的对应系数之差在波前2的坐标上重构出波前，即为剔除平面反射镜引入的系统误差后被测件波前。本发明解决了干涉仪波前检测中平面镜引入的系统误差问题。
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公开(公告)号：CN107402074A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201710563807.X
申请日：2017-07-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于光学稀疏子孔径区域内标准正交多项式计算进行重构波前的方法。首先把第一个Zernike多项式作为稀疏子孔径区域内正交多项式的第一个，将第i个Zernike多项式去除其在稀疏子孔径区域内正交多项式的前i-1上的投影，得到的残差作为稀疏子孔径区域内正交多项式的第i个，并对其进行归一化处理直到得到N个稀疏子孔径区域内标准正交基，然后，利用N个稀疏子孔径区域内标准正交基对波前相位数据进行重构。本发明解决了圆Zernike在稀疏子孔径区域的非正交性问题。
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公开(公告)号：CN106643798A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611197349.4
申请日：2016-12-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种可见光目标模拟系统，包括照明子系统、模拟目标子系统及光学投影子系统，所述模拟目标子系统包括第一模拟目标和第二模拟目标，所述第一模拟目标为模拟背景，所述第二模拟目标为模拟点目标和/或模拟扩展目标；经所述照明子系统照明后的第一模拟目标及第二模拟目标，在所述光学投影子系统中叠加，生成模拟可见光目标。本发明实施例提供的可见光目标模拟系统，采取了复杂背景叠加扩展目标的方式，可以有效地对被测光电跟踪系统在复杂背景下低对比度状态时的跟踪能力进行有效地检测和评估，使被测设备的使用状态与实际情况更接近，可以提高测试精度。
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公开(公告)号：CN105175723A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510566830.5
申请日：2015-09-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种超低热膨胀系数、超高模量的聚酰亚胺薄膜制备方法，本发明所述薄膜制备工艺简单易控制，具有刚直线性主链结构和氢键作用，所以具有超高模量(8GPa～12GPa)以及超低且可调节的热膨胀系数(-5ppm/℃～20ppm/℃)，其优异的尺寸稳定性、力学性能及耐温性能使其可应用于微电子甚至光电等领域。
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公开(公告)号：CN103257033A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310178495.2
申请日：2013-05-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及基于子孔径拼接干涉检测的窗口玻璃透射波前检测方法，根据干涉仪的口径和窗口玻璃的口径计算检测窗口玻璃所需子孔径个数，调整干涉仪与平面镜到自准直使干涉仪上条纹为零条纹；将四维扫描运动平台放置在干涉仪与平面镜之间，四维扫描运动平台带动窗口玻璃扫描运动，调整窗口玻璃与平面镜使干涉仪上的条纹为达到最少；将窗口玻璃调整到第一个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据；将窗口玻璃调整到第二个子孔径位置，干涉仪检测窗口玻璃并记录此时子孔径透射波前数据，直到窗口玻璃所有子孔径波前数据被检测并记录下来；将所有子孔径波前数据通过算法拼接，得到窗口玻璃全口径透射波前。
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