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公开(公告)号：CN103344195A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310274806.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置，由轮廓仪测头、轮廓仪测头微调机构、横臂、立柱、配重、横臂转台、工件转台和光学测头组成；光学测头固定于工件转台上绕轮廓仪测头进行旋转运动，获得轮廓仪测头的外轮廓数据，通过数据处理算法求出轮廓仪测头的中心位置信息，通过调整轮廓仪测头微调机构实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整。本发明实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供实用化的解决方案。
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公开(公告)号：CN102519397A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110401073.8
申请日：2011-12-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 一种光学球面曲率半径的测量方法，属于光学测试技术领域。本方法是：基于激光球面干涉定位的原理，利用高精度标准球实现被测球面曲率中心处的定位，使用激光跟踪仪测量曲率中心点至与干涉仪共焦的镜面之间距离，通过数据处理即可得到光学球面的曲率半径。本发明使用高精度标准球实现镜面曲率中心点的定位及利用激光跟踪仪进行相对距离的测量，测量精确、简单，费用低廉，对大口径、长曲率光学球面半径的高精度检测有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN104215186B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410528758.2
申请日：2014-10-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。
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公开(公告)号：CN104019750B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201410243303.6
申请日：2014-06-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明一种摆臂式轮廓仪有效臂长的测量装置和方法，该装置由第一靶球、第二靶球、微调机构、横臂、横臂支座、配重块、计算机、第一角度块、横臂转台、第二角度块、激光跟踪仪、工件转台、待测镜面、接触式传感器和工作台面组成；横臂绕横臂转台轴心线旋转，接触式传感器的测头球心、第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成绕横臂转台轴心线旋转的圆弧轨迹，激光跟踪仪分别跟踪测量第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成的圆弧轨迹，通过计算机的数据处理，得到接触式传感器的测头球心到横臂转台轴心线的距离，即摆臂式轮廓仪有效臂长。
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公开(公告)号：CN104215186A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410528758.2
申请日：2014-10-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519416B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201110414841.3
申请日：2011-12-13
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明公开了一种基于双测头扫描数据拼接的工件转台误差分离的测量装置及方法，该装置在由测头系统(1)、横臂(2)、立柱(3)、配重(4)、标准平晶(5)、工件转台(6)和横臂转台(7)组成的摆臂式轮廓仪上采用两套测头系统(1、1′)同时进行扫描测量；两套测头系统扫描一次后得到两根扫描轨迹M1，以一定角度β旋转工作转台再进行一次扫描，得到另外两根扫描轨迹M2；本发明采用双测头扫描数据拼接的方法，可以有效地分离去除工件转台的运动误差对测量结果的影响，从而大大提高了测量精度，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供了实用化的解决方案。
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公开(公告)号：CN102506761B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201110337046.9
申请日：2011-10-30
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法，属于光学测试技术领域，使用激光跟踪仪按照特定方式获取非球面坐标点，通过数据处理及优化搜索算法得到非球面顶点曲率半径。本发明提出了非球面顶点曲率半径测量的新方法，适用于非球面在制造加工过程之中顶点曲率半径的在位测量，尤其对大口径非球面顶点曲率的测量有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN103344195B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201310274806.5
申请日：2013-07-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置，由轮廓仪测头、轮廓仪测头微调机构、横臂、立柱、配重、横臂转台、工件转台和光学测头组成；光学测头固定于工件转台上绕轮廓仪测头进行旋转运动，获得轮廓仪测头的外轮廓数据，通过数据处理算法求出轮廓仪测头的中心位置信息，通过调整轮廓仪测头微调机构实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整。本发明实现轮廓仪测头与工件转台的对心调整，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供实用化的解决方案。
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公开(公告)号：CN102519397B
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201110401073.8
申请日：2011-12-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/255
Abstract: 一种光学球面曲率半径的测量方法，属于光学测试技术领域。本方法是：基于激光球面干涉定位的原理，利用高精度标准球实现被测球面曲率中心处的定位，使用激光跟踪仪测量曲率中心点至与干涉仪共焦的镜面之间距离，通过数据处理即可得到光学球面的曲率半径。本发明使用高精度标准球实现镜面曲率中心点的定位及利用激光跟踪仪进行相对距离的测量，测量精确、简单，费用低廉，对大口径、长曲率光学球面半径的高精度检测有重要的应用价值。
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公开(公告)号：CN104019750A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410243303.6
申请日：2014-06-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明一种摆臂式轮廓仪有效臂长的测量装置和方法，该装置由第一靶球、第二靶球、微调机构、横臂、横臂支座、配重块、计算机、第一角度块、横臂转台、第二角度块、激光跟踪仪、工件转台、待测镜面、接触式传感器和工作台面组成；横臂绕横臂转台轴心线旋转，接触式传感器的测头球心、第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成绕横臂转台轴心线旋转的圆弧轨迹，激光跟踪仪分别跟踪测量第一靶球的球心和第二靶球的球心在空间形成的圆弧轨迹，通过计算机的数据处理，得到接触式传感器的测头球心到横臂转台轴心线的距离，即摆臂式轮廓仪有效臂长。
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