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公开(公告)号：CN118482666A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410946902.8
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于可控空间载频移相干涉测量的调整装置及方法，属于光学检测领域，调整装置包括干涉测量系统，干涉测量系统包括光束准直分光机构、倾斜载频机构、成像机构以及计算机，光束准直分光机构包含激光器、扩束准直器以及分光板，倾斜载频机构包含压电偏摆台和参考镜，成像机构包含成像透镜和CCD相机；计算机控制压电偏摆台进行二维倾斜以产生密集干涉条纹；计算机系统通过基于二维离散傅里叶变换的相关处理分析干涉条纹获得压电偏摆台所需调整量，并驱动压电偏摆台进行准确调整。本发明为空间载频移相干涉测量中的直接干涉测量法(DMI)获取所需的干涉条纹提供了一种有效的调整手段,具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN117607053A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311697036.5
申请日：2023-12-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器。其中，所述处理器根据预存程序设置OLED显示屏显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件表面反射后的正弦条纹像经过显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被相机采集。待测光学元件表面存在疵病的位置会有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降。所述处理器对采集到正弦条纹图进行分析，获取所述待测曲面元件表面面形以及缺陷信息。
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公开(公告)号：CN117541467A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311568399.9
申请日：2023-11-23
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G06T3/4038 , G06T19/20 , G06V10/46
Abstract: 本发明提供一种基于调制度和SIFT的光学元件表面缺陷三维拼接的方法，用于实现快速准确的大口径表面缺陷三维检测，包括：获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率；调制度图像的特征提取；水平、垂直斜率的配准与融合；水平、垂直斜率积分重建拼接面形；高通滤波得到表面缺陷三维信息。采用显微结构照明获取子图像的调制度、水平斜率、垂直斜率信息，再采用SIFT算法对子图像的调制度进行特征提取，根据特征点位置信息对水平、垂直斜率进行配准和融合得到全口径的水平、垂直斜率分布，积分后得到全口径面形信息，进一步采用高通滤波得到全口径的表面缺陷三维信息。本发明为全口径光学元件表面缺陷三维拼接提供了一种快速准确的拼接手段。
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公开(公告)号：CN114739317B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202210338472.2
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于自校准的计算全息及非球面调整方法，通过先调整计算全息，后调整待测非球面，将计算全息的调整误差引入整个过程，且计算全息的调整精度可以不断优化，在此基础上精调待测非球面，提高了全流程的测量精度。采用最小二乘法拟合调整坐标方程求解最优调整坐标，并通过迭代操作降低误差，实现调整方法的自校准，整个过程基于坐标数值的相对变化进行调整，不要求光路粗调的精准度，在保证测量精度的同时，提高了测量效率。本发明通过多参量调整方程拟合和多目标优化解算，实现了计算全息及非球面的自校准调整。
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公开(公告)号：CN113091637B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202110301016.6
申请日：2021-03-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种超高精度平面镜全口径中频面形测量装置及方法，测量装置用于测量超高精度平面镜全口径中频面形，装置包括：白光干涉仪、显微物镜、轴向位移台、倾斜调整台、升降装置、两个标准镜及自准直仪以及计算机系统和大理石基座。白光干涉仪安装在大理石横梁上的升降装置上；轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在大理石基座上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测超高精度平面镜的空间姿态；计算机系统与白光干涉仪相连，收集超高精度平面镜子孔径区域面形信息；通过调整平移台获得超高精度平面镜下一子孔径内面形信息，最后根据自准直仪检测数据结合拼接数据处理软件，获得超高精度平面镜全口径面形误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114252023A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111622488.8
申请日：2021-12-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法，相移干涉仪安装在大理石横梁上；计算全息图通过全息调整架与相移干涉仪固定，通过全息调整架调整计算全息图；由检测工装、轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在与大理石基座相连的升降装置上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测非球面元件的空间姿态；计算机系统与相移干涉仪相连，采集待测非球面的面形信息；通过分析采集的面形信息获得待测非球面所需调整量，根据自准直仪检测数据控制位置调整台定量调整非球面，实现检测光路的准确调整。本发明为非球面计算全息检测提供了一种有效的调整手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN118130478A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410281004.5
申请日：2024-03-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种精密光学元件表面缺陷复合检测装置及方法，装置包括第一白光光源和第二白光光源、结构光光源、照明镜头、半透半反镜、显微物镜、待测光学元件、样品放置平台、成像镜头和彩色相机；方法包括步骤：1)使用白光光源和彩色相机对光学元件分别进行暗场和明场下的二维检测，确定缺陷位置并获取二维缺陷数据信息；2)切换结构光光源，在相同视场下获取元件表面反射的条纹图像，利用相位解算、三维重构等步骤确定元件表面缺陷的三维信息；3)将缺陷二维数据和三维数据进行融合。本发明通过切换白光光源和结构光光源，实现了明暗场与结构光结合检测，在保证系统结构紧凑、检测便捷的同时又提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN114252023B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202111622488.8
申请日：2021-12-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法，相移干涉仪安装在大理石横梁上；计算全息图通过全息调整架与相移干涉仪固定，通过全息调整架调整计算全息图；由检测工装、轴向位移台以及倾斜调整台组成的测量平台安装在与大理石基座相连的升降装置上，通过两个垂直安装的自准直仪测角系统实时监测测量过程中待测非球面元件的空间姿态；计算机系统与相移干涉仪相连，采集待测非球面的面形信息；通过分析采集的面形信息获得待测非球面所需调整量，根据自准直仪检测数据控制位置调整台定量调整非球面，实现检测光路的准确调整。本发明为非球面计算全息检测提供了一种有效的调整手段，具有较大的应用价值。
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公开(公告)号：CN109490313B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN201811330664.9
申请日：2018-11-09
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及一种大口径曲面光学元件表面缺陷自动检测装置及方法，属于光电技术检测领域。该装置包括测量头、旋转工件台、自动取样装置和喷淋装置。测量头包括传感器系统、照明系统和成像系统，照明系统为被测样品表面提供高均匀性和高亮度照明，旋转工件台和成像系统用于对光学表面区域的缺陷进行环带扫描和高分辨率散射成像。自动取样装置用作自动化生产中机械手自动夹取光学元件；喷淋设备一旦检测到表面上有灰尘、杂质等异物就被激活，用于准确去除被测件表面的灰尘、杂质等伪缺陷。本发明有效解决了大口径光学元件表面缺陷检测困难、效率低下的问题，可以快速测量大口径平面、球面和非球面光学元件的表面缺陷。
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公开(公告)号：CN114739317A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210338472.2
申请日：2022-04-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于自校准的计算全息及非球面调整方法，通过先调整计算全息，后调整待测非球面，将计算全息的调整误差引入整个过程，且计算全息的调整精度可以不断优化，在此基础上精调待测非球面，提高了全流程的测量精度。采用最小二乘法拟合调整坐标方程求解最优调整坐标，并通过迭代操作降低误差，实现调整方法的自校准，整个过程基于坐标数值的相对变化进行调整，不要求光路粗调的精准度，在保证测量精度的同时，提高了测量效率。本发明通过多参量调整方程拟合和多目标优化解算，实现了计算全息及非球面的自校准调整。
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