-
公开(公告)号：CN111560600B
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202010080528.X
申请日：2020-02-05
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C14/22 , C23C14/54
Abstract: 提供气化装置、成膜装置、程序记录介质及浓度控制方法。气化装置具备气化罐、载气供给路径、材料气体导出路径、浓度监测器和浓度控制机构，上述浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自上述浓度监测器的输出信号计算上述材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给上述材料气体的供给期间，进行以使构成上述浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设定的初始设定值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制该流体控制设备而使上述实际浓度接近预先设定的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；以及控制切换部，基于上述浓度控制部开始上述第一控制后的上述实际浓度的经时变化，将上述浓度控制部的控制状态从上述第一控制切换到上述第二控制。
-
公开(公告)号：CN118414509A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280084671.3
申请日：2022-10-20
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置，流量控制阀(4)具备：阀座部(41)、阀芯(42)、驱动部(43)、经由隔膜部(48)支承阀芯的支承体(44)。阀芯还具有：相对面(42F)，相对于落座面(42S)位于与阀座面(41S)相反的一侧；以及周面(42P)，连结落座面和相对面。隔膜部在比相对面靠落座面侧的位置与阀芯的周面连结。支承体具有：第一面(44S1)，以隔膜部的膜面的位置为基准，位于与相对面相同的一侧；以及第二面(44S2)，位于比第一面靠阀座部侧。在隔膜部为无变形的状态时，相对面和第一面位于同一面上。
-
公开(公告)号：CN117795448A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280053184.0
申请日：2022-07-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明在流体控制装置的阀控制中降低喷嘴的影响并且提高响应性能，是对流体控制装置(100)的阀(3)进行控制的阀控制方法，其中，对所输入的流量设定值(Qset)乘以目标响应传递函数(F)而生成目标响应函数(Y(Qset))，针对目标响应函数(Y(Qset))，对阀(2)的驱动电压与流量的非线性进行修正而生成目标电压函数(Y(Vset))，根据目标电压函数(Y(Vset))对阀(3)的延迟特性进行修正而生成前馈电压信号(VFF)，根据目标响应函数(Y(Qset))与流量传感器(2)的流量测定值(Qmeas)的偏差，利用反馈控制器(4d1)生成反馈电压信号(VFB)，使用前馈电压信号(VFF)与反馈电压信号(VFB)生成修正后指令电压信号(VCMD)，并根据该修正后指令电压信号(VCMD)对阀(3)进行控制。
-
公开(公告)号：CN117687443A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311153003.4
申请日：2023-09-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 马克西米利安·冈德拉赫 , 帕特里克·劳瑞 , 安田忠弘
IPC: G05D7/06
Abstract: 提供了一种混合流量比率控制器系统，其包括：被配置为接收总的入口流体流量的入口以及三个以上分配通道。三个以上分配通道中的每个分配通道都具有相应的可变流量控制阀并且输送总的入口流体流量的相应的部分。混合流量比率控制器还包括可操作地连接到相应的可变流量控制阀的控制器。控制器被配置为按照流量比率控制模式根据入口流体流量的预定流量比率来控制至少第一分配通道的流量；在流量控制模式或压力控制模式下控制至少第二分配通道的流量；并且在溢流模式下控制第三分配通道。
-
公开(公告)号：CN117222882A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202280028751.7
申请日：2022-03-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N21/3504
Abstract: 为了提供一种使激光光源和/或光检测器与气室分离而防止其暴露于高温，并且较以往更实用的气体分析装置，该气体分析装置具备：气室10；激光光源20或光检测器30，其与气室10分离配置；以及激光传输机构50，其设置于气室10与激光光源20或气室10与光检测器30之间，激光传输机构50具有一根或多根管部件51，在这些管部件51的内部空间形成有激光的光路L。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111971636B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201980025591.9
申请日：2019-04-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明涉及流量控制装置、诊断方法和存储介质。为了能够一边持续供给预定的流量一边诊断是否发生了异常等，流量控制装置包括：流出流入流量算出部，基于作为容积部内的压力的下游侧压力，算出流体相对于该容积部内的流出流入流量；阀流量推定部，基于所述阻力流量和所述流出流入流量，推定阀流量，所述阀流量为从所述容积部经由所述下游侧阀流出的流体的流量；流量控制部，控制所述下游侧阀，以使设定流量与所述阀流量的偏差变小；诊断参数算出部，基于作为所述流体阻力件的上游侧的压力的上游侧压力上升或下降的压力变化状态下的所述阻力流量或所述流出流入流量，算出诊断参数；以及诊断部，基于所述诊断参数来诊断异常。
-
公开(公告)号：CN116615795A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202180081278.4
申请日：2021-10-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 高仓洋
IPC: H01J49/42
Abstract: 本发明降低在四极质谱仪中由变压器所引起的温度影响，并具备：离子化部(21)，其将试样离子化；四极部(23)，其具有使由离子化部(21)所产生的离子选择性地通过的两组相向电极(23P)；电压施加部(32)，其向两组相向电极(23P)分别施加将直流电压U与高频电压Vcosωt叠加而得的电压；以及离子检测部(24)，其检测通过四极部(23)的离子，电压施加部(32)具有对高频电压Vcosωt进行变压的变压器(4)，变压器(4)是在环形磁芯(41)卷绕初级绕组(42)和次级绕组(43)而构成的部件，初级绕组(42)由呈板状的金属导体形成。
-
公开(公告)号：CN116203998A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211375432.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 德永和弥
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明的流量控制装置、方法和记录介质与设定流量的大小无关地始终将流体阻力的下游侧的压力保持在担保流量精度的低压、将测量出的阻力流量的精度持续保持为高精度、在流量变化的过渡状态下也难以受到噪声影响，具备：阻力流量计算器，根据第一压力传感器测量的第一测量压力及第二压力传感器测量的第二测量压力计算流过流体阻力的流体的流量即阻力流量；流量控制器，根据设定流量与阻力流量的偏差控制第二阀；设定压力转换器，根据作为流体阻力的下游侧的压力的目标且设定成恒定值的第二设定压力及设定流量输出流体阻力的上游侧的压力的目标即第一设定压力；压力控制器，根据从设定压力转换器输出的第一设定压力与第一测量压力的偏差控制第一阀。
-
公开(公告)号：CN115523425A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210710614.3
申请日：2022-06-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法，为防止从流体控制中输出的计算流量的不自然的举动，流体控制装置在流道上设置有流体控制阀、以及上、下游侧压力传感器，具备：实际流量计算部，根据上、下游侧压力传感器的测量压力计算流量；以及流量输出部，输出由实际流量计算部计算出的计算流量，在判断为流体控制阀为关闭状态的情况下，流量输出部发挥与计算流量无关地输出零值的零输出功能，还具备切换部，切换部对流量输出部的零输出功能的执行和停止进行切换，在流体控制阀为打开状态并且从上游侧的测量压力减去下游侧的测量压力得到的差比规定的停止阈值大的情况下，切换部使零输出功能停止，使流量输出部输出计算流量。
-
公开(公告)号：CN115479128A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210654870.5
申请日：2022-06-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
Abstract: 本发明提供流体控制阀和流体控制装置，通过抑制流体的流场的紊乱来减小难以预料的尖峰举动，流体控制阀(3)具备：阀座构件(4)，设置在上游侧流道(51(A))与下游侧流道(51(B))之间，具有与上游侧流道(51(A))连接的第一内部流道(411)以及与下游侧流道(51(B))连接的第二内部流道(412)；隔膜(721)，配置成与阀座构件(4)之间形成有间隙(X)，从上游侧流道(51(A))流入了第一内部流道(411)的流体流入间隙(X)，流体在间隙(X)中的流动方向与在第一内部流道(411)中的流动方向不同，第二内部流道(422)在形成第一内部流道(421)的内侧周面(43)开口，阀座构件(4)具有面对第一内部流道(411)与间隙(X)的合流部位(J)的倒角部(46)。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
302
records
(took 0.027 seconds)
