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公开(公告)号：CN115523425A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210710614.3
申请日：2022-06-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法，为防止从流体控制中输出的计算流量的不自然的举动，流体控制装置在流道上设置有流体控制阀、以及上、下游侧压力传感器，具备：实际流量计算部，根据上、下游侧压力传感器的测量压力计算流量；以及流量输出部，输出由实际流量计算部计算出的计算流量，在判断为流体控制阀为关闭状态的情况下，流量输出部发挥与计算流量无关地输出零值的零输出功能，还具备切换部，切换部对流量输出部的零输出功能的执行和停止进行切换，在流体控制阀为打开状态并且从上游侧的测量压力减去下游侧的测量压力得到的差比规定的停止阈值大的情况下，切换部使零输出功能停止，使流量输出部输出计算流量。
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公开(公告)号：CN108572023B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201810204147.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括：流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定所述流量传感器的输出值或与所述流量传感器的输出值相关的值(以下将它们统称为“输出关联值”)，并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设定的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。
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公开(公告)号：CN108536180A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810174449.8
申请日：2018-03-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , G05B6/02
Abstract: 流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括：流量测量部，测量流过流道内的流体的流量；流体控制阀，设置在流道上；开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在测量流量稳定的稳定状态和因设定流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下，以针对偏差的开度操作量的变化在过渡状态下比在稳定状态下变缓的方式，设定控制系数，在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。
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公开(公告)号：CN102564509B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201110319279.6
申请日：2011-10-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F15/068 , G01F15/005
Abstract: 本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3)，所述MFC(2)包括：流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1)，该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据，该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算，所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据，并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和所述流量计算相关数据进行流量计算。
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公开(公告)号：CN102564509A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110319279.6
申请日：2011-10-19
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F15/068 , G01F15/005
Abstract: 本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3)，所述MFC(2)包括：流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1)，该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据，该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算，所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据，并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和所述流量计算相关数据进行流量计算。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116449879A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310005822.8
申请日：2023-01-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。
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公开(公告)号：CN101529356B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN200780040316.1
申请日：2007-10-29
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
Abstract: 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。
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公开(公告)号：CN101529356A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780040316.1
申请日：2007-10-29
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
Abstract: 本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。
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公开(公告)号：CN109917825B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201811517831.0
申请日：2018-12-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流体装置，不必对已构筑的系统实施软件变更，就可以接收现有的动作指令信号以外的动作指令信号。在测量或控制流体的物理量的所述流体装置中，具备：指令信号接收部，接收预定的多种动作指令信号；以及指令信号识别部，当所述指令信号接收部接收的作为规定的动作指令信号的值或值的时序列变化的指令信号方式在预定的规定范围外时，将所述规定的动作指令信号识别为其他种类的动作指令信号。
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公开(公告)号：CN109917825A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201811517831.0
申请日：2018-12-12
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流体装置，不必对已构筑的系统实施软件变更，就可以接收现有的动作指令信号以外的动作指令信号。在测量或控制流体的物理量的所述流体装置中，具备：指令信号接收部，接收预定的多种动作指令信号；以及指令信号识别部，当所述指令信号接收部接收的作为规定的动作指令信号的值或值的时序列变化的指令信号方式在预定的规定范围外时，将所述规定的动作指令信号识别为其他种类的动作指令信号。
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