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公开(公告)号：CN114063658A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110892747.2
申请日：2021-08-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 德永和弥
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，即使设定流量的大小发生变化，最终也能将内部的压力保持为较低、将流量传感器的灵敏度保持为较高，并提高流量控制精度，装置包括：阻力流量计算器，根据第一压力传感器测量的第一压力以及第二压力传感器测量的第二压力，计算流过流体阻力的流体的流量即阻力流量；第一阀流量换算器，根据第一压力从阻力流量换算通过第一阀的流体的流量即第一阀流量；第二阀流量换算器，根据第二压力从阻力流量换算通过第二阀的流体的流量即第二阀流量；第一阀控制器，以使第一设定流量与第一阀流量的偏差变小的方式控制第一阀；第二阀控制器，以使第二设定流量与第二阀流量的偏差变小的方式控制第二阀。
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公开(公告)号：CN112054716B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202010381335.8
申请日：2020-05-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，能抑制从压电致动器放出电荷并收缩时的发热量并能降低驱动压电致动器所需要的能量，流体控制阀(3)具备压电致动器(31)以及与所述压电致动器(31)连接的驱动电路(32)，所述驱动电路(32)具备：回扫变压器(5)，具备与直流电源(DV)连接的一次侧线圈(51)及与所述压电致动器(31)连接的二次侧线圈(52)；充电开关(61)，与所述一次侧线圈(51)连接，当所述压电致动器(31)充电时从ON切换为OFF；放电开关(62)，与所述二次侧线圈(52)连接，当所述压电致动器(31)放电时从OFF切换为ON；再生用电容(71)，与所述一次侧线圈(51)连接，利用所述压电致动器(31)的放电对电能进行再生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117795448A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202280053184.0
申请日：2022-07-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明在流体控制装置的阀控制中降低喷嘴的影响并且提高响应性能，是对流体控制装置(100)的阀(3)进行控制的阀控制方法，其中，对所输入的流量设定值(Qset)乘以目标响应传递函数(F)而生成目标响应函数(Y(Qset))，针对目标响应函数(Y(Qset))，对阀(2)的驱动电压与流量的非线性进行修正而生成目标电压函数(Y(Vset))，根据目标电压函数(Y(Vset))对阀(3)的延迟特性进行修正而生成前馈电压信号(VFF)，根据目标响应函数(Y(Qset))与流量传感器(2)的流量测定值(Qmeas)的偏差，利用反馈控制器(4d1)生成反馈电压信号(VFB)，使用前馈电压信号(VFF)与反馈电压信号(VFB)生成修正后指令电压信号(VCMD)，并根据该修正后指令电压信号(VCMD)对阀(3)进行控制。
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公开(公告)号：CN116203998A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211375432.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 德永和弥
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明的流量控制装置、方法和记录介质与设定流量的大小无关地始终将流体阻力的下游侧的压力保持在担保流量精度的低压、将测量出的阻力流量的精度持续保持为高精度、在流量变化的过渡状态下也难以受到噪声影响，具备：阻力流量计算器，根据第一压力传感器测量的第一测量压力及第二压力传感器测量的第二测量压力计算流过流体阻力的流体的流量即阻力流量；流量控制器，根据设定流量与阻力流量的偏差控制第二阀；设定压力转换器，根据作为流体阻力的下游侧的压力的目标且设定成恒定值的第二设定压力及设定流量输出流体阻力的上游侧的压力的目标即第一设定压力；压力控制器，根据从设定压力转换器输出的第一设定压力与第一测量压力的偏差控制第一阀。
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公开(公告)号：CN114764256A
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202111654794.X
申请日：2021-12-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 德永和弥
IPC: G05D16/20
Abstract: 本发明提供一种压力控制系统，对设置有流体阻力的封闭空间的收敛压力以设置在流体阻力的上游侧的上游侧阀边抑制过冲边高速地进行控制，压力控制系统(100)在构成封闭空间的流道(200)上设置有流体阻力(10d)，通过控制设置在流体阻力(10d)的上游侧的上游侧阀(10b)来控制封闭空间的压力，具备：收敛压力计算部(40)，使用流道(200)中的流体阻力(10d)的上游侧压力(P1)和下游侧压力(P2)的至少一方，计算将上游侧阀(10b)完全关闭的情况下的封闭空间的收敛压力(PCONV)；以及阀控制部(30)，对计算出的收敛压力(PCONV)与规定的目标收敛压力(PT_CONV)进行比较，根据其比较结果，将上游侧阀(10b)完全关闭。
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公开(公告)号：CN114545983A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111319208.6
申请日：2021-11-09
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质，能以基本不发生时间延迟且以噪声大幅降低的形式得到流过下游侧阀的流体的流量，而且比以往提高响应性。所述流量控制装置包括：下游侧阀流量测定器(VFS)，测定作为流过下游侧阀(V2)的流体的流量的下游侧阀流量；以及观测器(3)，包括根据改变所述下游侧阀(V2)的开度的输入参数来推定所述下游侧阀流量的下游侧阀流量推定模型(31)，所述下游侧阀流量测定器(VFS)输出的所述下游侧阀流量的测定值与所述下游侧阀流量推定模型输出的所述下游侧阀流量的推定值的偏差被反馈到所述观测器(3)。
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公开(公告)号：CN112054716A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010381335.8
申请日：2020-05-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，能抑制从压电致动器放出电荷并收缩时的发热量并能降低驱动压电致动器所需要的能量，流体控制阀(3)具备压电致动器(31)以及与所述压电致动器(31)连接的驱动电路(32)，所述驱动电路(32)具备：回扫变压器(5)，具备与直流电源(DV)连接的一次侧线圈(51)及与所述压电致动器(31)连接的二次侧线圈(52)；充电开关(61)，与所述一次侧线圈(51)连接，当所述压电致动器(31)充电时从ON切换为OFF；放电开关(62)，与所述二次侧线圈(52)连接，当所述压电致动器(31)放电时从OFF切换为ON；再生用电容(71)，与所述一次侧线圈(51)连接，利用所述压电致动器(31)的放电对电能进行再生。
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