-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116449879A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310005822.8
申请日：2023-01-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制方法及记录介质，在阀完全关闭的状态下提高流量的测量精度，流体控制装置具备：流体阻力元件，设置在流道上；上游侧压力传感器，检测流体阻力元件的上游侧压力；下游侧压力传感器，检测流体阻力元件的下游侧压力；流量计算部，根据上游侧压力以及下游侧压力，计算流过流道的流量；阀，设置在上游侧压力传感器的上游侧或下游侧压力传感器的下游侧；以及阀控制部，根据由流量计算部计算出的流量，控制阀，当阀处于完全关闭的状态时，流量计算部从在阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与第一流量计算式不同的第二流量计算式，计算流量。
-
公开(公告)号：CN117222957A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202280031520.1
申请日：2022-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，为了抑制预料之外地输出的流量，并且亦使输出的流量迅速稳定，流体控制装置(100)自上游侧起依序排列设有流体控制阀(1)、上游侧压力传感器(21)、流体阻力组件(22)及下游侧压力传感器(23)，流体控制装置(100)包括：实际流量计算部(24)，基于上游侧压力传感器(21)及下游侧压力传感器(22)的测定压力来计算流量；延迟流量计算部(4)，使由实际流量计算部(24)所计算的计算流量产生响应延迟并计算延迟流量；以及流量输出部(5)，将预定的基准值与计算流量的绝对差、及基准值与延迟流量的绝对差进行比较，输出所述绝对差小的计算流量或延迟流量。
-
公开(公告)号：CN111693230A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010165652.6
申请日：2020-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置，能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏，其包括：流体阻力件(R)，设置于流道；第一阀(V1)，设置于所述流体阻力件(R)的上游侧；第一压力传感器(P1)，测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流体阻力件(R)之间的第一容积(VL1)内的压力；第二阀(V2)，设置于所述流体阻力件(R)的下游侧；第二压力传感器(P2)，测量所述流道中位于所述流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容积(VL2)的压力；阀控制器(4)，控制所述第一阀(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部(52)，在所述阀控制器(4)使所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)的各测量压力，判断所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)有无阀座泄漏。
-
公开(公告)号：CN111693230B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202010165652.6
申请日：2020-03-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置，能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏，其包括：流体阻力件(R)，设置于流道；第一阀(V1)，设置于所述流体阻力件(R)的上游侧；第一压力传感器(P1)，测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流体阻力件(R)之间的第一容积(VL1)内的压力；第二阀(V2)，设置于所述流体阻力件(R)的下游侧；第二压力传感器(P2)，测量所述流道中位于所述流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容积(VL2)的压力；阀控制器(4)，控制所述第一阀(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部(52)，在所述阀控制器(4)使所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)的各测量压力，判断所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)有无阀座泄漏。
-
公开(公告)号：CN115523425A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202210710614.3
申请日：2022-06-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法，为防止从流体控制中输出的计算流量的不自然的举动，流体控制装置在流道上设置有流体控制阀、以及上、下游侧压力传感器，具备：实际流量计算部，根据上、下游侧压力传感器的测量压力计算流量；以及流量输出部，输出由实际流量计算部计算出的计算流量，在判断为流体控制阀为关闭状态的情况下，流量输出部发挥与计算流量无关地输出零值的零输出功能，还具备切换部，切换部对流量输出部的零输出功能的执行和停止进行切换，在流体控制阀为打开状态并且从上游侧的测量压力减去下游侧的测量压力得到的差比规定的停止阈值大的情况下，切换部使零输出功能停止，使流量输出部输出计算流量。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.018 seconds)
