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公开(公告)号：CN114811082A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210042762.2
申请日：2022-01-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
IPC: F16K3/02 , F16K3/30 , F16K3/314 , F16K11/074 , F16K31/04
Abstract: 本发明提供流体控制阀、流体控制装置、阀体以及阀体的制造方法，为了在由树脂层形成阀体的落座面的流体控制阀中能够防止加工阀体的内部流道时的面凹陷，而且能够保证最大流量，流体控制阀(3)具备阀座(4)以及阀体(6)，所述阀体(6)在形成于与阀座(4)相对的相对面(6x)的凹槽(61)设置有树脂层(62)，在所述流体控制阀(3)中，阀体(6)具有内部流道(63)，所述内部流道(63)的流入口(6p)在与相对面(6x)朝向相反侧的背面(6b)开口，并且所述内部流道(63)的流出口(6q)在相对面(6x)的凹槽(61)的周围开口，在内部流道(63)的流入口(6p)侧形成有锪孔部(65)。
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公开(公告)号：CN113655815A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110510270.7
申请日：2021-05-11
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量比例控制系统、成膜系统、异常诊断方法和异常诊断程序介质，在将彼此并列设置的多条分流流道的流量控制为规定的分流比的流量比例控制系统中，为了能诊断是否发生了影响其分流比的系统异常，包括：分流比计算部(43)，在彼此不同的分流流道(1)的流体控制阀(3)关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道(1)而得到的流量传感器(2)的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部(44)，存储成为实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部(45)，通过将实际分流比和基准分流比进行比较来诊断系统异常。
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公开(公告)号：CN118900964A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202380028911.2
申请日：2023-03-27
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
IPC: F16K1/34
Abstract: 本发明提供流体控制阀、流体控制装置和流体控制阀的制造方法，提高流体控制阀的密封性，其中包括：阀座(5)，具有平面状的阀座面(5a)；以及阀芯(6)，具有落座于阀座面(5a)的平面状的落座面(6a)，作为阀座面(5a)和落座面(6a)中的一方的第一面的表面硬度高于作为阀座面(5a)和落座面(6a)中的另一方的第二面的表面硬度。
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公开(公告)号：CN117588596A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310960736.2
申请日：2023-08-01
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀和流体控制装置。本发明通过减小包含阀芯的磁路的磁阻，从而能够以更小的电流或电压来进行流体控制。流体控制阀包括：流道块(2)，形成有内部流道(2R)；节流器(5)，固定于流道块(2)，具有阀座面(5a)；由磁体形成的阀芯(6)，具有落座于阀座面(5a)的落座面(6a)；以及致动器部(7)，通过磁力驱动阀芯(6)，致动器部(7)具有：铁芯(71)，与阀芯(6)的落座面(6a)相反侧的面(6b)相对设置；螺线管线圈(72)，卷绕于铁芯(71)；以及由磁体形成的壳体(73)，收容铁芯(71)和螺线管线圈(72)，壳体(73)延伸到包围阀芯(6)的周围的位置。
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公开(公告)号：CN108572023A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810204147.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括：流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定所述流量传感器的输出值或与所述流量传感器的输出值相关的值(以下将它们统称为“输出关联值”)，并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设定的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118414509A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280084671.3
申请日：2022-10-20
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置，流量控制阀(4)具备：阀座部(41)、阀芯(42)、驱动部(43)、经由隔膜部(48)支承阀芯的支承体(44)。阀芯还具有：相对面(42F)，相对于落座面(42S)位于与阀座面(41S)相反的一侧；以及周面(42P)，连结落座面和相对面。隔膜部在比相对面靠落座面侧的位置与阀芯的周面连结。支承体具有：第一面(44S1)，以隔膜部的膜面的位置为基准，位于与相对面相同的一侧；以及第二面(44S2)，位于比第一面靠阀座部侧。在隔膜部为无变形的状态时，相对面和第一面位于同一面上。
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公开(公告)号：CN115479128A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210654870.5
申请日：2022-06-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
Abstract: 本发明提供流体控制阀和流体控制装置，通过抑制流体的流场的紊乱来减小难以预料的尖峰举动，流体控制阀(3)具备：阀座构件(4)，设置在上游侧流道(51(A))与下游侧流道(51(B))之间，具有与上游侧流道(51(A))连接的第一内部流道(411)以及与下游侧流道(51(B))连接的第二内部流道(412)；隔膜(721)，配置成与阀座构件(4)之间形成有间隙(X)，从上游侧流道(51(A))流入了第一内部流道(411)的流体流入间隙(X)，流体在间隙(X)中的流动方向与在第一内部流道(411)中的流动方向不同，第二内部流道(422)在形成第一内部流道(421)的内侧周面(43)开口，阀座构件(4)具有面对第一内部流道(411)与间隙(X)的合流部位(J)的倒角部(46)。
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公开(公告)号：CN114542780A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111364323.5
申请日：2021-11-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 赤土和也
Abstract: 本发明提供流体控制装置、流体控制装置的控制方法和程序存储介质，能够将在从完全关闭状态以使测定量成为设定量的方式控制控制阀时施加的初期施加电压尽可能设定为接近打开起始电压的值，能够提高响应速度的同时能够防止大幅逸出等的产生。所述流体控制装置的阀控制器(2)具备：初期驱动电压设定部(22)，在使控制阀(V)从完全关闭状态向规定开度变化的情况下，向电压生成电路输入用于设定对所述控制阀(V)施加的初期驱动电压的电压指令；以及驱动历史记录存储部(21)，用于存储所述控制阀的驱动历史记录信息，所述初期驱动电压设定部(22)根据所述驱动历史记录信息改变所述初期驱动电压的值。
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公开(公告)号：CN108572023B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201810204147.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
Abstract: 本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括：流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定所述流量传感器的输出值或与所述流量传感器的输出值相关的值(以下将它们统称为“输出关联值”)，并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设定的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。
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公开(公告)号：CN107448614B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201710229874.8
申请日：2017-04-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不容易产生污染的流体控制阀(3)和半导体制造装置，半导体制造装置使用所述流体控制阀(3)，为此，阀座构件(4)和阀体构件(6)中的至少任意一方包括金属制的基体(61)以及树脂层(62)，所述树脂层(62)覆盖所述基体(61)的表面并形成阀座面(4a)或接触阀座的面(6a)，所述树脂层(62)与所述基体(61)直接化学结合。
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