公开(公告)号：CN111971636B

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN201980025591.9

申请日：2019-04-01

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 瀧尻兴太郎 ,  长井健太郎 ,  曾采薇

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明涉及流量控制装置、诊断方法和存储介质。为了能够一边持续供给预定的流量一边诊断是否发生了异常等，流量控制装置包括：流出流入流量算出部，基于作为容积部内的压力的下游侧压力，算出流体相对于该容积部内的流出流入流量；阀流量推定部，基于所述阻力流量和所述流出流入流量，推定阀流量，所述阀流量为从所述容积部经由所述下游侧阀流出的流体的流量；流量控制部，控制所述下游侧阀，以使设定流量与所述阀流量的偏差变小；诊断参数算出部，基于作为所述流体阻力件的上游侧的压力的上游侧压力上升或下降的压力变化状态下的所述阻力流量或所述流出流入流量，算出诊断参数；以及诊断部，基于所述诊断参数来诊断异常。

公开(公告)号：CN111971636A

公开(公告)日：2020-11-20

申请号：CN201980025591.9

申请日：2019-04-01

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 瀧尻兴太郎 ,  长井健太郎 ,  曾采薇

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明涉及流量控制装置、诊断方法和流量控制装置用程序。为了能够一边持续供给预定的流量一边诊断是否发生了异常等，流量控制装置包括：流出流入流量算出部，基于作为容积部内的压力的下游侧压力，算出流体相对于该容积部内的流出流入流量；阀流量推定部，基于所述阻力流量和所述流出流入流量，推定阀流量，所述阀流量为从所述容积部经由所述下游侧阀流出的流体的流量；流量控制部，控制所述下游侧阀，以使设定流量与所述阀流量的偏差变小；诊断参数算出部，基于作为所述流体阻力件的上游侧的压力的上游侧压力上升或下降的压力变化状态下的所述阻力流量或所述流出流入流量，算出诊断参数；以及诊断部，基于所述诊断参数来诊断异常。