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公开(公告)号：CN118414509A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202280084671.3
申请日：2022-10-20
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流量控制阀、流量控制阀的制造方法和流量控制装置，流量控制阀(4)具备：阀座部(41)、阀芯(42)、驱动部(43)、经由隔膜部(48)支承阀芯的支承体(44)。阀芯还具有：相对面(42F)，相对于落座面(42S)位于与阀座面(41S)相反的一侧；以及周面(42P)，连结落座面和相对面。隔膜部在比相对面靠落座面侧的位置与阀芯的周面连结。支承体具有：第一面(44S1)，以隔膜部的膜面的位置为基准，位于与相对面相同的一侧；以及第二面(44S2)，位于比第一面靠阀座部侧。在隔膜部为无变形的状态时，相对面和第一面位于同一面上。
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