公开(公告)号：CN113217818A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN202110083651.1

申请日：2021-01-21

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 爱德华·科西亚迪弗罗 ,  约翰·迪克 ,  威廉姆·W·怀特 ,  马克西米利安·冈德拉赫 ,  帕特里克·劳瑞

IPC: F17D1/04 ,  F17D3/01

Abstract: 本公开提供了一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：电气背板；可操作地耦合到所述电气背板的系统控制器；和多个质量流量控制器。各个所述的质量流量控制器包括可操作地耦合到所述电气背板的各自的质量流量控制电路。所述系统控制器和各个所述的质量流量控制电路物理地安装到所述电气背板。所述气体输送系统还包括泵/清除系统，以帮助消除系统内的压力上升并且使系统中的流动过程快速停止。因此，能够评估与流动过程相关联的列，从而在必要时能够换出质量流量控制器。

公开(公告)号：CN117687443A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311153003.4

申请日：2023-09-07

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 马克西米利安·冈德拉赫 ,  帕特里克·劳瑞 ,  安田忠弘

IPC: G05D7/06

Abstract: 提供了一种混合流量比率控制器系统，其包括：被配置为接收总的入口流体流量的入口以及三个以上分配通道。三个以上分配通道中的每个分配通道都具有相应的可变流量控制阀并且输送总的入口流体流量的相应的部分。混合流量比率控制器还包括可操作地连接到相应的可变流量控制阀的控制器。控制器被配置为按照流量比率控制模式根据入口流体流量的预定流量比率来控制至少第一分配通道的流量；在流量控制模式或压力控制模式下控制至少第二分配通道的流量；并且在溢流模式下控制第三分配通道。